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龙图腾网获悉北京中科镭特电子有限公司申请的专利一种载物台组件及激光解键合装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113851396B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111035875.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种载物台组件及激光解键合装置是由张喆;张紫辰;李纪东;张昆鹏;侯煜;张彪;易飞跃;杨顺凯设计研发完成，并于2021-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种载物台组件及激光解键合装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种载物台组件及激光解键合装置，该载物台组件包括载物台、吸盘及抬升组件。载物台固定第一层结构。吸盘具有吸附端面及连接端面，吸附端面划分为至少三个吸附区，其包括位于吸盘中心的圆形吸附区、由圆形吸附区向外依次排列的至少两个圆环形吸附区。抬升组件为至少三组，每组抬升组件用于在对应吸附区位置处的键合层被激光加热发生相变后，向上拉升对应的吸附区，以使第一层结构和第二层结构在对应吸附区位置处分离。能够在激光扫描部分的键合层区域之后，立即抬升吸盘的对应吸附区，使该吸附区位置处的两个层结构分离，防止该部分区域被激光加热而处于熔融状态的键合层再次冷凝粘接，降低剥离难度，减少剥离时间，提高剥离效率。

本发明授权一种载物台组件及激光解键合装置在权利要求书中公布了：1.一种载物台组件，应用于对待解键合件进行激光解键合过程中，其中，所述待解键合件包括第一层结构、以及通过键合层粘接的第二层结构，且所述第一层结构及第二层结构的形状均为圆盘状，其特征在于，所述载物台组件包括： 载物台，用于固定所述第一层结构； 圆盘状的吸盘，所述吸盘具有相对的吸附端面及连接端面，所述吸附端面用于吸附在所述第二层结构表面；所述吸附端面划分为至少三个吸附区，所述三个吸附区包括位于所述吸盘中心的圆形吸附区、以及由所述圆形吸附区向外依次排列的至少两个圆环形吸附区； 与所述至少三个吸附区一一对应的至少三组抬升组件，每组抬升组件用于在对应吸附区位置处的所述键合层被激光加热发生相变后，向上拉升所述对应的吸附区，以使所述第一层结构和第二层结构在所述对应吸附区位置处分离； 其中，在激光解键合的过程中，将吸盘吸附在第二层结构表面，激光束依次透过吸盘及第二层结构后聚焦在键合层；在控制激光束的焦点扫描键合层时，由外圈向内圈依次扫描所有的吸附区位置处的键合层，并在每个所述吸附区对应位置的键合层扫描完成后，抬升所述吸附区，使所述第一层结合和第二层结构对应位置分离。

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