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华南理工大学杜娟获国家专利权

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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115439523B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210925230.3,技术领域涉及:G06T7/60;该发明授权一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质是由杜娟;杨钧植设计研发完成,并于2022-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质,包括:采用高斯滤波及自适应阈值分割法对目标图像进行预处理;在目标图像预先设置的ROI区域内,根据目标边缘拟合得到基准直线;在每个引脚的ROI区域内根据引脚边缘均值拟合得到引脚顶点,由引脚顶点到基准直线作垂线得到引脚长度;根据基准直线对目标图像进行角度校正,校正后的目标图像获取引脚区域正向图,并求得引脚轮廓;获得引脚轮廓中每个子轮廓的质心,并以质心坐标替代引脚顶点坐标,根据质心间距获得引脚间距。本发明不仅提高了边缘直线拟合的准确度,还加快了算法检测速率,大大减少了引脚边缘起伏对检测带来的影响,减少了检测对打光条件的依赖,提高了检测精度。

本发明授权一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种半导体器件引脚尺寸检测方法,其特征在于,包括: 采用高斯滤波及自适应阈值分割法对目标图像进行预处理; 在目标图像预先设置的ROI区域内,根据目标边缘拟合得到基准直线; 在每个引脚的ROI区域内根据引脚边缘均值拟合得到引脚顶点,由引脚顶点到基准直线作垂线得到引脚长度,具体为: 在预先设置于半导体器件边缘的四个ROI区域内,由Sobel算子提取目标边缘并计算边缘均值,得四个边缘拟合均值a1、a2、a3、a4,使用最小二乘法对边缘直线进行拟合,得到基准直线L; 在每个半导体器件引脚预先设置的ROI区域内,根据引脚边缘计算均值点xi,yi,该引脚边缘均值点即作为引脚顶点Pi; 由引脚顶点Pi向基准直线L作垂线,记垂足为Fi,则线段PiFi的长度即为半导体器件引脚的长度; 根据基准直线对目标图像进行角度校正,获取校正后的目标图像的引脚区域图,并求得引脚轮廓; 具体为: 由基准直线L的偏移角度θ对图像进行角度校正,保证半导体器件的引脚竖直向上,得到校正后的目标图像I'; 采用引脚区域ROI模板对校正后的目标图像进行切片,得到引脚区域图像I0; 对引脚区域图像I0进行先腐蚀后膨胀的形态学处理后得到连通区域; 对连通区域进行轮廓扫描,得到引脚轮廓C,C中的子元素是每个引脚的轮廓; 获得引脚轮廓中每个子轮廓的质心,并以质心坐标替代引脚顶点坐标,根据质心间距获得引脚间距; 具体为: 获得引脚轮廓C中所有子轮廓的零阶矩M00以及一阶矩M01和M10,得到子轮廓的质心坐标xc,yc; 用相邻引脚轮廓的质心横坐标相减,得引脚间距di。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华南理工大学,其通讯地址为:510640 广东省广州市天河区五山路381号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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