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龙图腾网获悉武汉大学申请的专利用于OCD测量匹配的库搜索方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115438065B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210945212.1，技术领域涉及：G06F16/242；该发明授权用于OCD测量匹配的库搜索方法是由张佩婷;蔡强;杨德坤;宋毅设计研发完成，并于2022-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于OCD测量匹配的库搜索方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于OCD测量匹配的库搜索方法，包括：实验测量目标结构的实验特征光谱数据；确定该目标结构的参数组的范围值与搜索精度值；建立第一数据库和第二数据库，第一数据库内包含根据参数组的范围值仿真生成的多个第一仿真特征光谱数据，第二数据库为空的数据库；初始化搜索模式、搜索位置及搜索速度由第一数据库生成一批粒子群；初始化该粒子群的个体极值和全局极值；基于搜索模式和实验特征光谱数据获取所有粒子的匹配误差；基于匹配误差获取当前的个体极值，并更新全局极值；在满足搜索终止条件时，基于对应的全局极值获得个体最优解，以获取对应粒子的参数作为目标结构的结构参数。本发明避免大量数据冗余，提高了匹配效率和精度。

本发明授权用于OCD测量匹配的库搜索方法在权利要求书中公布了：1.一种用于OCD测量匹配的库搜索方法，基于粒子群算法获取微纳结构的目标结构的结构参数，其特征在于，该方法包括以下步骤： 步骤S1、进行实验测量目标结构以获得该目标结构的实验特征光谱数据； 步骤S2、根据所述实验特征光谱数据确定该目标结构的参数组的范围值与搜索精度值； 步骤S3、建立第一数据库和第二数据库，所述第一数据库内包含根据所述参数组的范围值仿真生成的多个第一仿真特征光谱数据，所述第二数据库为空的数据库； 步骤S4、设定搜索模式、搜索位置以及搜索速度的初始值，进一步基于所述第一数据库生成由预设数量的粒子组成的粒子群；并设定该粒子群的个体极值和全局极值的初始值； 步骤S5、基于所述搜索模式和所述实验特征光谱数据获取该预设数量的粒子对应的匹配误差；包括： 步骤S51、获取每个所述粒子对应的所述搜索模式，并进一步根据该粒子对应的所述搜索位置从而所述第一数据库或所述第二数据库中获取该粒子； 步骤S52、根据所述实验特征光谱数据对获取得到的所述粒子对应的所述第一仿真特征光谱数据或所述第二数据库中的第二仿真光谱数据进行匹配误差计算; 在所述步骤S51中，设定所述搜索模式包括以下三种：从所述第一数据库中获取所述粒子、从所述第二数据库中获取所述粒子以及将当前所述粒子的匹配误差设为负无穷； 所述步骤S51包括： 步骤S511、当所述搜索模式为从所述第一数据库中获取所述粒子时，基于所述搜索位置判断所述第一数据库内是否存在对应的粒子，若否，则获取距离该搜索位置最近的所述粒子； 步骤S512、当所述搜索模式为从所述第二数据库中获取所述粒子时，基于所述搜索位置判断所述第二数据库内是否存在对应的粒子，若否，则调用仿真软件并根据所述搜索位置在所述第二数据库内生成匹配的所述第二仿真光谱数据;步骤S6、基于所有的所述匹配误差获取当前的个体极值，并根据当前的个体极值与之前的个体极值更新所述全局极值； 步骤S7、在满足搜索终止条件时，基于对应的所述全局极值获得个体最优解，并进一步获取对应粒子的参数作为所述目标结构的结构参数。

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