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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利多级驱动的MEMS静电驱动器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115490201B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211248816.7，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权多级驱动的MEMS静电驱动器是由凌必赟;吴亚明;王潇悦;陈栋;徐巧设计研发完成，并于2022-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本多级驱动的MEMS静电驱动器在说明书摘要公布了：本发明提供一种多级驱动的MEMS静电驱动器，结构包括：衬底、载荷、逐级串联的若干个一维静电驱动结构、锚点、导线及绝缘介质；每一级的一维静电驱动结构均包括外框架、至少一个静电驱动单元、及至少一个弹性梁；载荷与第一级的外框架连接；除最后一级的外框架通过最后一级的弹性梁悬挂固定到衬底以外，其余每一级的外框架均通过位于同一级的弹性梁连接下一级的外框架；静电驱动单元包括两个位置相对的梳齿集，分别布置于位于同一级的外框架，及衬底或下一级的所述外框架；每一级的外框架在位于同一级的静电驱动单元的作用下独立地实现一维运动；在各级的一维静电驱动结构的共同作用下，载荷实现无耦合干扰的多维运动或和大位移运动。

本发明授权多级驱动的MEMS静电驱动器在权利要求书中公布了：1.一种多级驱动的MEMS静电驱动器，其特征在于， 包括：衬底、载荷、逐级串联的若干个一维静电驱动结构、锚点、导线及绝缘介质；每一级的所述一维静电驱动结构包括外框架、至少一个静电驱动单元及至少一个弹性梁； 最后一级的所述外框架连接着最后一级的所述弹性梁的一端，并通过最后一级的所述弹性梁的另一端连接所述锚点，悬挂固定在所述衬底上；其余每一级的所述外框架均通过位于同一级的所述弹性梁连接下一级的所述外框架； 所述载荷与第一级的所述外框架连接； 每一级的所述静电驱动单元均包括两个位置相对的梳齿集，分别为内梳齿集和外梳齿集；每一级的所述静电驱动单元的所述内梳齿集均布置于位于同一级的所述外框架上；每一级的所述静电驱动单元的所述外梳齿集均布置于下一级的所述外框架上，最后一级的所述静电驱动单元的所述外梳齿集布置于所述衬底上； 每一级的所述静电驱动单元驱动位于同一级的所述外框架独立地实现一维运动；在各级的所述一维静电驱动结构的共同作用下，所述载荷实现无耦合干扰的多维运动或和大位移运动； 除所述载荷外，所述多级驱动的MEMS静电驱动器的其余结构由三层体结构层和若干层薄膜层堆叠而成； 所述三层体结构层分别为底部体结构层、中间体结构层及顶部体结构层；所述衬底独占所述底部体结构层；所有的所述外框架、所有的所述弹性梁及所述锚点均设置于所述中间体结构层或均设置于所述顶部体结构层，构成主体连续结构； 所述中间体结构层和所述顶部体结构层之间布置有导电薄膜层和中间绝缘薄膜层；所述导线设置于所述导电薄膜层；所述中间绝缘薄膜层用于提供所述绝缘介质。

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