安徽博泰电子材料有限公司宋福全获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉安徽博泰电子材料有限公司申请的专利一种高纯氨基镓、铟、铝化合物的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116003459B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310083071.1,技术领域涉及:C07F5/06;该发明授权一种高纯氨基镓、铟、铝化合物的制备方法是由宋福全;卢志国;顾二形;王小亮;王波;刘立湘;杨丰誉;孙长礼;孙彦辉设计研发完成,并于2023-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高纯氨基镓、铟、铝化合物的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高纯氨基镓、铟、铝化合物的制备方法,属于半导体芯片技术领域,包括以下步骤:第一步、制备二甲基氨基锂正己烷悬浮液;第二步、制备三二甲基氨基镓二聚体粗品、三二甲基氨基铟二聚体粗品和三二甲基氨基铝二聚体粗品中一种;第三步、采用阶梯降温重结晶法纯化三二甲基氨基金属化合物粗品,得到高纯氨基镓、铟、铝化合物;本发明采用阶梯降温重结晶法纯化三二甲基氨基金属化合物粗品,不仅效率高且工艺简单,重结晶过程中产品结晶速度适中,不会形成杂质包裹,产品的晶形好,纯度≥99.9999%6N,满足半导体芯片ALDCVD膜沉积用的纯度需求。
本发明授权一种高纯氨基镓、铟、铝化合物的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高纯氨基镓、铟、铝化合物的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 第一步、制备二甲基氨基锂正己烷悬浮液; 第二步、制备三(二甲基氨基)金属化合物粗品; 第三步、采用阶梯降温重结晶法纯化三(二甲基氨基)金属化合物粗品,得到高纯氨基镓、铟、铝化合物; 其中,阶梯降温重结晶法纯化三(二甲基氨基)金属化合物粗品的具体操作如下: 保护气体氛围下,将三(二甲基氨基)金属化合物粗品加入反应釜中,首次加入正己烷,60℃搅拌1h后转移至三口烧瓶中,进行首次梯度降温重结晶,完成后,去除结晶母液,将三口烧瓶脱离冷浴槽,向三口烧瓶中再次加入正己烷,升温至60℃至晶体全部溶解后,降温至室温,再次梯度降温重结晶,完成后,分离母液,结晶产物室温下真空干燥3h即可; 首次梯度降温重结晶过程具体如下: 密闭三口烧瓶并将其置于冷浴槽中,将冷却槽制冷温度分别依次设定为10℃、0℃、-10℃、-20℃、-30℃、-40℃温度段,各个温度段处理60min; 再次梯度降温重结晶与首次梯度降温重结晶操作步骤相同; 三(二甲基氨基)金属化合物粗品、首次加入正己烷、再次加入正己烷的质量比为1.6-2.5:6:2.5。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽博泰电子材料有限公司,其通讯地址为:239000 安徽省滁州市全椒县十谭产业园;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。