新特能源股份有限公司;新特硅基新材料有限公司齐婷婷获国家专利权
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龙图腾网获悉新特能源股份有限公司;新特硅基新材料有限公司申请的专利一种用于多晶硅生产还原炉的进料装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116253324B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310184198.2，技术领域涉及：C01B33/035；该发明授权一种用于多晶硅生产还原炉的进料装置是由齐婷婷;刘兴平;苏国良;施杰;黄金锋;阿扎提阿热帕提设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于多晶硅生产还原炉的进料装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于多晶硅生产还原炉的进料装置，包括鼓泡汽化器、气液分离器，还包括膜层单元、控制系统，所述鼓泡汽化器上连接有三氯氢硅进料管线和氢气进料管线，分别用于通入三氯氢硅液体和氢气，所述膜层单元设于所述鼓泡汽化器内，用于使氢气在鼓泡汽化器中的三氯氢硅液体内产生纳微气泡；所述控制系统，用于跟踪鼓泡汽化器的液位变化及三氯氢硅液体的进料流量变化对三氯氢硅液体的进料流量进行调节，以及，按照预设的三氯氢硅液体进料流量与氢气进料流量的比例，对氢气的进料流量进行调节，从而准确控制三氯氢硅气体与氢气的进料流量及其进料比例。本发明能够降低能耗，准确控制三氯氢硅气体与氢气的进料量及其进料比例。
本发明授权一种用于多晶硅生产还原炉的进料装置在权利要求书中公布了：1.一种用于多晶硅生产还原炉的进料装置，包括鼓泡汽化器1、气液分离器8，其特征在于，还包括膜层单元3、控制系统， 所述鼓泡汽化器上连接有三氯氢硅进料管线10和氢气进料管线9，分别用于通入三氯氢硅液体和氢气，所述膜层单元设于所述鼓泡汽化器内，用于使氢气在鼓泡汽化器中的三氯氢硅液体内产生纳微气泡，其中，所述膜层单元包括板式膜、支撑件，所述板式膜为疏油透气膜，通过支撑件安装在鼓泡汽化器的内部，氢气在通过板式膜时产生所述纳微气泡； 所述控制系统，用于跟踪鼓泡汽化器的液位变化及三氯氢硅液体的进料流量变化对三氯氢硅液体的进料流量进行调节，以及，按照预设的三氯氢硅液体进料流量与氢气进料流量的比例，对氢气的进料流量进行调节，从而准确控制三氯氢硅气体与氢气的进料流量及其进料比例。
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