广东金湾高景太阳能科技有限公司;四川高景太阳能科技有限公司李益文获国家专利权
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龙图腾网获悉广东金湾高景太阳能科技有限公司;四川高景太阳能科技有限公司申请的专利一种超细金刚石线锯的切割方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116494407B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310471546.4,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权一种超细金刚石线锯的切割方法是由李益文;徐志群;冯秀鹏;汤琦设计研发完成,并于2023-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超细金刚石线锯的切割方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种超细金刚石线锯的切割方法,该方法包括:以硅方棒刚接触线网的位置为零点,并沿收线轮至放线轮方向从坐标为‑1mm的位置开始对硅方棒进行切割;切割时,采用超细金刚石线对粘晶塑料板上的硅方棒进行分段式切割,包括依次连续进行的低位切割阶段、中位切割阶段和高位切割阶段,而且在切割过程,硅方棒向超细金刚石线线网做单向匀变速运动,同时超细金刚石线线网做往返循环运动。实现了超细金刚石线锯对硅方棒的切割,能够有效的减低断线,提高硅片生产的良率和品质,同时通过超细金刚石线锯能够提高出片率,进而提高了硅片的生产效率。
本发明授权一种超细金刚石线锯的切割方法在权利要求书中公布了:1.一种超细金刚石线锯的切割方法,其特征在于,包括: 以硅方棒刚接触线网的位置为零点,并沿收线轮至放线轮方向从坐标为-1mm的位置开始对硅方棒进行切割; 切割时,采用超细金刚石线对粘晶塑料板上的硅方棒进行分段式切割,包括依次连续进行的低位切割阶段、中位切割阶段和高位切割阶段,而且在切割过程,硅方棒向超细金刚石线线网做单向匀变速运动,同时超细金刚石线线网做往返循环运动; 所述低位切割阶段共有四步,而且所述低位切割阶段的台速由1500μmmin分四步提升至高速切割阶段的台速A1μmmin,线速分四步由750mmin提升至高速切割阶段的线速B1mmin,且控制第一步的进线量大于回线量50m~60m;其中A1为该超细金刚石线极限台速×80%,B1为该超细金刚石线极限线速×80%; 所述中位切割阶段共有十三步,而且所述中位切割阶段前六步的台速保持A1μmmin,后七步的台速由A1μmmin逐步降至A2μmmin,本阶段的线速全程保持B1mmin,且控制第一步的进线量大于回线量80m~150m; 所述高位切割阶段共有四步,而且所述高位切割阶段的台速由A2μmmin分四步逐渐减低为A3μmmin,线速由B1mmin分四步逐步降低至B2mmin,且控制第一步的回线量大于进线量400m~700m; 所述超细金刚石线的线径为28μm~30μm,所述硅方棒为G10规格的硅方棒或G12规格的硅方棒;当所述硅方棒为G10规格的硅方棒时,所述低位切割阶段的切割范围为硅方棒横截面高度0mm~20mm的位置,不包含20mm,所述中位切割阶段的切割范围为硅方棒横截面高度20mm~180mm的位置,不包含180mm,所述高位切割阶段的切割范围为硅方棒和粘晶塑料板的横截面高度180mm~191mm的位置; 当所述硅方棒为G12规格的硅方棒时,所述低位切割阶段的切割范围为硅方棒横截面高度0mm~20mm的位置,不包含20mm,所述中位切割阶段的切割范围为硅方棒和粘晶塑料板的横截面高度20mm~215mm的位置,不包含215mm,所述高位切割阶段的切割范围为粘晶塑料板的横截面高度215mm~221mm的位置。
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