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龙图腾网获悉北京北方华创真空技术有限公司申请的专利一种MOCVD用石墨盘烤盘炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116753722B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310731647.0，技术领域涉及：F27B9/16；该发明授权一种MOCVD用石墨盘烤盘炉是由马昊鹏;张革;杜程;邓蕊;王志超设计研发完成，并于2023-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MOCVD用石墨盘烤盘炉在说明书摘要公布了：本申请涉及金属有机物化学气相沉积的领域，尤其是涉及一种MOCVD用石墨盘烤盘炉，包括石墨盘本体、用于放置需清洁的石墨盘本体的炉体、设置在所述炉体内用于对所述炉体内部进行加热的加热器、设置在所述炉体底部的石墨盘旋转装置、用于向所述炉体内部充气及吹扫所述石墨盘本体盘面的进气管，以及用于排出所述炉体内部气体的排气管；其中，所述石墨盘本体放置在所述石墨盘旋转装置上，且所述石墨盘旋转装置可带动所述石墨盘转动，所述进气管以及所述排气管均设置有多根。本申请具有对大尺寸的石墨盘达到更好的清洁效果的效果。

本发明授权一种MOCVD用石墨盘烤盘炉在权利要求书中公布了：1.一种MOCVD用石墨盘烤盘炉，其特征在于，包括石墨盘本体1、用于放置需清洁的石墨盘本体1的炉体2、设置在所述炉体2内用于对所述炉体2内部进行加热的加热器3、设置在所述炉体2底部的石墨盘旋转装置4、用于向所述炉体2内部充气及吹扫所述石墨盘本体1盘面的进气管5，以及用于排出所述炉体2内部气体的排气管6； 其中，所述石墨盘本体1放置在所述石墨盘旋转装置4上，且所述石墨盘旋转装置4可带动所述石墨盘转动，所述进气管5以及所述排气管6均设置有多根； 所述石墨盘旋转装置4包括转动电机41、与所述转动电机41驱动轴连接的主动转动轴42、与所述主动转动轴连接的从动转动轴43，所述主动转动轴42、所述从动转动轴43靠近所述炉体2长度方向的两端均设置有固定轴承座44，所述固定轴承座44内设置有固定轴承，所述主动转动轴42与所述从动转动轴43平行设置，所述主动转动轴42与所述从动转动轴43上均设置有固定所述石墨盘本体1的固定件8； 所述主动转动轴42的固定轴承座44与所述从动转动轴43上设置的固定轴承座44之间互相可拆卸设置，且主动转动轴42的固定轴承座44、从动转动轴43的固定轴承座44与炉体2之间均为可拆卸设置； 所述主动转动轴42的固定轴承座44之间、所述从动转动轴43的固定轴承座44之间均设置有支架轴承座46。

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