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龙图腾网获悉北京北方华创真空技术有限公司申请的专利一种防基材磁化的PVD磁控溅射设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116752111B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310780792.8，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种防基材磁化的PVD磁控溅射设备是由肖剑;苏艳波;刘旭;马永;尹翔;刘文丽设计研发完成，并于2023-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种防基材磁化的PVD磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本申请属于磁控溅射领域，尤其是涉及一种防基材磁化的PVD磁控溅射设备，其包括多个阴极磁棒和与阴极磁棒一一对应的靶材，靶材为套设于阴极磁棒外围的靶料圆筒，阴极磁棒包括至少三个磁条，磁条贴附于靶材的内壁，且与靶材平行等长；每个阴极磁棒中的磁条的磁极作镜像设置，相邻阴极磁棒中的磁条的磁极互逆设置。本申请具有消除磁控溅射加工过程中基材的磁化现象的效果。

本发明授权一种防基材磁化的PVD磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种防基材磁化的PVD磁控溅射设备，其特征在于：包括多个阴极磁棒和与阴极磁棒一一对应的靶材（3），所述靶材（3）为套设于所述阴极磁棒外围的靶料圆筒，所述阴极磁棒包括至少三个磁条（2），所述磁条（2）贴附于所述靶材（3）的内壁，且与所述靶材（3）平行等长； 每个所述阴极磁棒中的所述磁条（2）的磁极作镜像设置，相邻所述阴极磁棒中的所述磁条（2）的磁极互逆设置； 每个所述阴极磁棒内设有顺次排布的第一磁条（23）、第二磁条（24）、第三磁条（25）和第四磁条（26），每根所述磁条（2）在轴向上包括中间段，以及分布于所述中间段两侧的端头段；所述阴极磁棒包括SNNS磁棒（11）和NSSN磁棒（12），所述SNNS磁棒（11）与NSSN磁棒（12）交替排布； 在所述磁条（2）的端头段， 所述SNNS磁棒（11）所述第一磁条（23）和所述第四磁条（26）的磁感线朝向彼此，所述NSSN磁棒（12）的所述第一磁条（23）和所述第四磁条（26）的磁感线与彼此相背； 在所述磁条（2）的端头段，所述第二磁条（24）包括靠近端面的第一部分和靠近所述中间段的第二部分， 所述SNNS磁棒（11）的所述第一部分的磁感线朝向所述第三磁条（25），所述第二部分的磁感线朝向所述靶材（3）外，在所述第二磁条（24）的其中一端，所述第一部分的长度大于所述第二部分，在另一端，所述第一部分的长度小于所述第二部分； 所述NSSN磁棒（12）的所述第一部分的磁感线与所述第三磁条（25）相背，所述第二部分的磁感线朝向所述靶材（3）内，在所述第二磁条（24）的其中一端，所述第一部分的长度大于所述第二部分，在另一端，所述第一部分的长度小于所述第二部分。

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