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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利减压干燥装置及减压干燥方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117884329B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311319374.5，技术领域涉及：B05D3/04；该发明授权减压干燥装置及减压干燥方法是由北村翔也;高村幸宏;竹市祐实设计研发完成，并于2023-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本减压干燥装置及减压干燥方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种对涂敷膜的干燥不均进行抑制的减压干燥装置及减压干燥方法。减压干燥装置1具备腔室10、支撑部20、冷却部40、第一升降部100、减压机构30和控制部80。支撑部20在腔室内支撑基板9。冷却部40冷却与基板9的上表面相对的冷却面40a。第一升降部100使支撑部和冷却面中的至少任一方在基板与冷却面之间的间隔为第一间隔的第一状态与该间隔为宽于所述第一间隔的第二间隔的第二状态之间升降。减压机构吸引腔室内的气体，降低腔室内的气压。控制部控制第一升降部和减压机构，使得在第一状态下使腔室内的气压达到第一气压之后，在第二状态下使腔室内的气压达到低于第一气压的第二气压。

本发明授权减压干燥装置及减压干燥方法在权利要求书中公布了：1.一种减压干燥装置，使涂敷于基板的上表面的涂敷膜干燥，其中，具备： 腔室，容纳所述基板； 支撑部，在所述腔室内支撑所述基板； 冷却部，对与由所述支撑部支撑的所述基板的所述上表面相对的冷却面进行冷却； 第一升降部，使所述支撑部和所述冷却面中的至少任一方在第一状态与第二状态之间升降，所述第一状态下，由所述支撑部支撑的所述基板与所述冷却面之间的间隔为第一间隔，所述第二状态下，由所述支撑部支撑的所述基板与所述冷却面之间的间隔为宽于所述第一间隔的第二间隔； 减压机构，吸引所述腔室内的气体，使所述腔室内的气压降低；以及 控制部，控制所述第一升降部和所述减压机构，使得在所述第一状态下使所述腔室内的气压达到第一气压之后，在所述第二状态下使所述腔室内的气压达到低于所述第一气压的第二气压， 所述控制部控制所述冷却部，以在所述第一状态下，将所述冷却面冷却为，小于或等于在所述基板上的溶剂的蒸汽压曲线中压力达到所述第一气压时的温度，且在所述第二状态下，将所述冷却面冷却为，大于或等于在所述蒸汽压曲线中压力达到所述第二气压时的温度。

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