苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司杨世武获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司申请的专利一种多腔室火焰水解沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223047593U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420767810.9，技术领域涉及：C23C16/54；该实用新型一种多腔室火焰水解沉积装置是由杨世武;眭朝萍;谢应涛;田帅设计研发完成，并于2024-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多腔室火焰水解沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于火焰水解沉积技术领域，具体公开了一种多腔室火焰水解沉积装置，包括沉积设备本体、反应气体箱和废气处理单元，所述沉积设备本体内设有反应腔室、样品载物台和驱动样品载物台旋转的动力单元，所述样品载物台位于反应腔室的底部，所述样品载物台包括同轴设置的内环载物台和外环载物台，所述内环载物台上沿其周向分布有多个内环样品区，所述外环载物台上沿其周向分布有多个外环样品区；所述反应腔室内设有反应喷枪；所述反应气体箱能够为所述反应腔室提供反应气体，所述废气处理箱能够处理反应腔室的火焰水解所产生的废气。本实用新型可实现不同尺寸的样品同时进行成沉积，兼容性更强。
本实用新型一种多腔室火焰水解沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种多腔室火焰水解沉积装置，包括沉积设备本体、反应气体箱和废气处理单元，其特征在于，所述沉积设备本体内设有反应腔室、样品载物台和驱动样品载物台旋转的动力单元，所述样品载物台位于反应腔室的底部，所述样品载物台底部设有加热台，所述样品载物台上同轴设置有内环载物台和外环载物台，所述内环载物台上沿其周向分布有多个内环样品区，所述外环载物台上沿其周向分布有多个外环样品区； 所述反应腔室内设有反应喷枪；所述反应气体箱能够为所述反应腔室提供反应气体，所述废气处理单元能够处理反应腔室的火焰水解所产生的废气。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司，其通讯地址为：215335 江苏省苏州市昆山开发区杜鹃路555号C12栋3F-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号