闽都创新实验室蓝莉莉获国家专利权
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龙图腾网获悉闽都创新实验室申请的专利一种提高晶体生长均匀性的无沉积HVPE气体输送结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223047638U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421245359.0，技术领域涉及：C30B25/14；该实用新型一种提高晶体生长均匀性的无沉积HVPE气体输送结构是由蓝莉莉;李俊谕;陈晨龙设计研发完成，并于2024-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高晶体生长均匀性的无沉积HVPE气体输送结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种提高晶体生长均匀性的无沉积HVPE气体输送结构，包括：屏蔽气体输送管路、金属气体输送管路和含氮气体输送管路，所述金属气体输送管路位于屏蔽气体输送管路内，所述金属气体输送管路的末端位于屏蔽气体输送管路内，所述含氮气体输送管路为方形管且位于屏蔽气体输送管路的上方，所述含氮气体输送管路相对于屏蔽气体输送管路更靠近衬底。本实用新型的有益效果是通过优化此气体输送结构的几何形状和尺寸设计，避免了混合后的前驱物气体附着在气体输送管路外壁，导致结构碎裂；同时优化了制程气体的气流均匀性，使前驱物气体在衬底表面分布更均匀。
本实用新型一种提高晶体生长均匀性的无沉积HVPE气体输送结构在权利要求书中公布了：1.一种提高晶体生长均匀性的无沉积HVPE气体输送结构,包括：屏蔽气体输送管路（1）、金属气体输送管路（2）和含氮气体输送管路（3），其特征是：所述金属气体输送管路位于屏蔽气体输送管路内，所述金属气体输送管路的末端位于屏蔽气体输送管路内，所述含氮气体输送管路为方形管且位于屏蔽气体输送管路的上方，所述含氮气体输送管路相对于屏蔽气体输送管路更靠近衬底。
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