若名芯半导体科技(苏州)有限公司;若名芯装备(苏州)有限公司余涛获国家专利权
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龙图腾网获悉若名芯半导体科技(苏州)有限公司;若名芯装备(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆的夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052130U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421431124.0，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆的夹持装置是由余涛;庞金元;徐东波设计研发完成，并于2024-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的夹持装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆的夹持装置，包括可自动旋转的旋转平台；多个第一夹持部件和第二夹持部件分别与旋转平台随动的设置在旋转平台内；第一传动组件和第二传动组件分别与第一夹持部件和第二夹持部件相连，顶开组件与第二夹持部件相连；当旋转平台处于静止状态时，第一传动组件和第二传动组件分别维持第一夹持部件和第二夹持部件处于松开和夹持状态；当旋转平台处于旋转加速状态产生的离心力大于第一传动组件给予第一夹持部件松开晶圆的维持力以及第二传动组件给予第二夹持部件夹持晶圆的维持力时，第一夹持部件从松开状态转变为夹持状态，第二夹持部件从夹持状态转变为松开状态，从而能在对晶圆清洗时也能对晶圆的夹持边缘部清洗。
本实用新型一种晶圆的夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的夹持装置，其特征在于，包括： 旋转平台，所述旋转平台可自动旋转； 第一夹持部件和第二夹持部件，多个所述第一夹持部件和第二夹持部件分别与所述旋转平台随动的设置在所述旋转平台内部，并从所述旋转平台的上端穿出，用于夹持或松开晶圆； 第一传动组件和第二传动组件，分别与所述第一夹持部件和所述第二夹持部件相连； 顶开组件，设置在所述第二夹持部件的一侧，用以将处于夹持状态的第二夹持部件顶开后切换为松开状态； 其中，当所述旋转平台处于静止状态时，所述第一传动组件和第二传动组件分别维持所述第一夹持部件和第二夹持部件处于松开和夹持晶圆的状态； 所述旋转平台处于旋转加速状态时产生离心力，当离心力大于所述第一传动组件给予第一夹持部件松开晶圆的维持力以及所述第二传动组件给予所述第二夹持部件夹持晶圆的维持力时，所述第一夹持部件从松开状态转变为夹持状态，所述第二夹持部件从夹持状态转变为松开状态。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人若名芯半导体科技(苏州)有限公司;若名芯装备(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市漕湖街道春兴路45号平谦国际(苏相)产业园二期K栋5楼东南侧；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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