上海新昇半导体科技有限公司;上海新昇晶睿半导体科技有限公司沈伟民获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新昇半导体科技有限公司;上海新昇晶睿半导体科技有限公司申请的专利一种气相重掺掺杂装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223047640U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421539314.4，技术领域涉及：C30B31/06；该实用新型一种气相重掺掺杂装置是由沈伟民;毛志飞设计研发完成，并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相重掺掺杂装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种气相重掺掺杂装置，包括石英钟罩，石英钟罩具有一溢流开口，溢流开口与待掺杂物相对设置；石英钟罩自溢流开口向上依次包括掺杂腔与料盒放置腔，料盒放置腔的至少部分侧壁配置为第二导流部，第二导流部由掺杂腔的罩壳侧壁向石英钟罩的腔体内倾斜弯折，形成包含锥台结构的料盒放置腔，以缩小料盒放置腔的容积。通过采用该掺杂装置，从料盒室蒸发的气体直接沿石英钟罩侧壁向下流动进入掺杂室，并接近待掺杂物表面进行气相掺杂，实现了提高料盒室的含掺杂剂混合气体浓度的目的，节约掺杂剂的使用，降低成本，并提高掺杂效率。
本实用新型一种气相重掺掺杂装置在权利要求书中公布了：1.一种气相重掺掺杂装置，包括石英钟罩，所述石英钟罩具有一溢流开口，所述溢流开口与待掺杂物相对设置；其特征在于， 所述石英钟罩自所述溢流开口向上依次包括掺杂腔与料盒放置腔，所述料盒放置腔的至少部分侧壁配置为第二导流部，所述第二导流部由所述掺杂腔的罩壳侧壁向所述石英钟罩的腔体内倾斜弯折，形成包含锥台结构的料盒放置腔，以缩小所述料盒放置腔的容积。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海新昇半导体科技有限公司;上海新昇晶睿半导体科技有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路1000号1-4幢、6-19幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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