上海光通信有限公司张乐获国家专利权
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龙图腾网获悉上海光通信有限公司申请的专利晶圆承载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052131U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421593637.1，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆承载台是由张乐;缪从海设计研发完成，并于2024-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载台在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆承载台，涉及半导体技术领域，用于解决晶圆承载台易卡顿的问题。该晶圆承载台包括承载基座，以及与承载基座连接的运动装置，运动装置用于带动承载基座在第一方向上进行运动。运动装置包括第一导向件和第二导向件，第一导向件具有第一容纳腔，第一容纳腔贯穿第一导向件沿第一方向相对的表面，第一容纳腔表面上设置有至少一个第一限位部。第二导向件设置在第一容纳腔内，第二导向件的外表面设置有至少一个第二限位部，第一限位部和第二限位部配合连接且第一限位部和第二限位部可在第一方向上相对运动。本申请中的运动装置可以对承载基座进行导向，并减少晶圆承载台的卡顿。
本实用新型晶圆承载台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载台，其特征在于，包括：承载基座，以及与所述承载基座连接的运动装置，所述运动装置用于带动所述承载基座在第一方向上进行运动； 所述运动装置包括： 第一导向件，所述第一导向件具有第一容纳腔，所述第一容纳腔贯穿所述第一导向件沿所述第一方向相对的表面，所述第一容纳腔表面上设置有至少一个第一限位部； 设置在所述第一容纳腔内的第二导向件，所述第二导向件的外表面设置有至少一个第二限位部，所述第一限位部和所述第二限位部配合连接且所述第一限位部和所述第二限位部可在所述第一方向上相对运动。
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