重庆欧宜腾智能装备有限公司杜建飞获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉重庆欧宜腾智能装备有限公司申请的专利磁控溅射装置用旋转式阴极单元获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223047578U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421625886.4，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射装置用旋转式阴极单元是由杜建飞设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射装置用旋转式阴极单元在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种磁控溅射装置用旋转式阴极单元，包括呈圆筒状的靶筒和安装在靶筒内的磁棒管材，在靶筒的两端分别装配有一根与磁棒管材相连通、并与靶筒对应端相接的进水管路和出水管路；所述进水管路与一驱动机构相接，并能够在驱动机构的驱动下旋转；在进水管路上套设有一个侧板连接件，在侧板连接件的外端设有一外侧板连接盘，在外侧板连接盘与进水管路之间、进水管路上套设有至少一圈第一管路密封圈，在外侧板连接盘面向靶筒的一侧设有至少一圈侧板密封圈；在靶筒靠近出水管路的一端、靶筒内设有一滚珠轴承，所述出水管路的一端密封套接在滚珠轴承内，在出水管路远离滚珠轴承的一端、出水管路上设有至少一圈密封圈，所述密封圈与滚珠轴承之间形成一个中空腔室双层侧板装配空间。
本实用新型磁控溅射装置用旋转式阴极单元在权利要求书中公布了：1.磁控溅射装置用旋转式阴极单元，包括呈圆筒状的靶筒和安装在靶筒内的磁棒管材，在靶筒的两端分别装配有一根与磁棒管材相连通、并与靶筒对应端相接的进水管路和出水管路；所述进水管路与一驱动机构相接，并能够在驱动机构的驱动下旋转；其特征在于：在进水管路上套设有一个侧板连接件，在侧板连接件的外端设有一外侧板连接盘，在外侧板连接盘与进水管路之间、进水管路上套设有至少一圈第一管路密封圈，在外侧板连接盘面向靶筒的一侧设有至少一圈侧板密封圈；在靶筒靠近出水管路的一端、靶筒内设有一滚珠轴承，所述出水管路的一端密封套接在滚珠轴承内，在出水管路远离滚珠轴承的一端、出水管路上设有至少一圈密封圈，所述密封圈与滚珠轴承之间形成一个中空腔室双层侧板装配空间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆欧宜腾智能装备有限公司，其通讯地址为：401520 重庆市合川区工业园区高阳路东侧；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号