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河南宏宇陶瓷材料有限公司蒋小波获国家专利权

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龙图腾网获悉河南宏宇陶瓷材料有限公司申请的专利一种氮化硅沉积炉管获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223047583U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421647271.1,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型一种氮化硅沉积炉管是由蒋小波;宋红利设计研发完成,并于2024-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种氮化硅沉积炉管在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种氮化硅沉积炉管,包括底座,所述底座的一侧固定连接有内管,所述底座的一侧固定连接有外管,所述外管的侧壁设有流通管,所述外管远离底座的一端固定连接有端板,所述端板的一侧贯穿设有转动管,所述转动管位于外管的一端固定连接有内板,所述内板的侧壁设有用于对转动管连通的连通机构,所述转动管的侧壁设有安装管,所述安装管的侧壁固定连接有多个周向设置的连接架。本实用新型过内外管结构,增加炉管的内壁附着面积,避免管壁的沉积厚度较厚而对氮化硅的性质造成影响的问题,同时配合内板与外环的移动,可实现内外管的内外侧同时清洁,提升清洁效率的同时,不会对炉管的使用造成影响与干涉。

本实用新型一种氮化硅沉积炉管在权利要求书中公布了:1.一种氮化硅沉积炉管,包括底座1,其特征在于,所述底座1的一侧固定连接有内管2,所述底座1的一侧固定连接有外管3,所述外管3的侧壁设有流通管10,所述外管3远离底座1的一端固定连接有端板4,所述端板4的一侧贯穿设有转动管5,所述转动管5位于外管3的一端固定连接有内板9,所述内板9的侧壁设有用于对转动管5连通的连通机构,所述转动管5的侧壁设有安装管11,所述安装管11的侧壁固定连接有多个周向设置的连接架6,多个所述连接架6远离安装管11的一端固定连接有外环8,所述外环8滑动连接在外管3内,所述转动管5与安装管11的相对侧壁设有用于对连接架6移动过程中导向的导向机构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人河南宏宇陶瓷材料有限公司,其通讯地址为:450000 河南省郑州市巩义市站街镇鲁村村;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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