芯恩(青岛)集成电路有限公司李向峰获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利用于取放晶圆的机械手及晶圆搬运系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052128U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421697737.9，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型用于取放晶圆的机械手及晶圆搬运系统是由李向峰;张永盛设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于取放晶圆的机械手及晶圆搬运系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于取放晶圆的机械手及晶圆搬运系统，包括承载主体；所述承载主体具有弧形部和支撑部，所述支撑部设于所述弧形部的内侧，用于支撑晶圆的中间区域，所述弧形部用于吸附晶圆。本实用新型提供的用于取放晶圆的机械手，通过在弧形部的内侧设置支撑部用于支撑晶圆的中间区域，避免了弧形部在吸附较薄的晶圆时，晶圆由于自身的重力使中间区域呈向下弯曲脱离承载主体，导致晶圆损坏的情况发生，增加了晶圆取放时的可靠性，提高了生产效率，降低了成本。
本实用新型用于取放晶圆的机械手及晶圆搬运系统在权利要求书中公布了：1.一种用于取放晶圆的机械手，其特征在于，包括承载主体； 所述承载主体具有弧形部和支撑部，所述支撑部设于所述弧形部的内侧，用于支撑晶圆的中间区域，所述弧形部用于吸附晶圆； 所述支撑部具有支撑面，所述支撑面上设有检测部，所述支撑面用于支撑晶圆，所述检测部用于检测晶圆与所述支撑面的贴合度和检测晶圆是否脱离所述承载主体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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