大连理工大学丁洪斌获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种在超高真空环境下的强场材料激光释气特性测量装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223051245U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421774404.1,技术领域涉及:G01N27/64;该实用新型一种在超高真空环境下的强场材料激光释气特性测量装置是由丁洪斌;王程明;吕燕;李聪;吴鼎;吴平设计研发完成,并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在超高真空环境下的强场材料激光释气特性测量装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种在超高真空环境下的强场材料激光释气特性测量装置,包括:真空系统、抽真空系统、数据采集系统、激光发射系统;装置含有两个腔室,两腔室底部均连接分子泵及机械泵为其提供真空环境;两腔室均装有高精度真空规,采集腔室气压变化信息;测量室额外装有与计算机通信的热电偶、四极杆质谱仪,实现在测量样品激光烧蚀后释气特性的同时,分析样品所放出的气体成分。本实用新型在不破坏真空环境条件下,连续对多个不同样品进行激光释气测量,节省换样时间,减小多次开腔室放样对释气数据带来的影响。通过调整测量室样品架四个维度以及调节激光器光斑大小、功率及脉宽,在同一样品的不同位置检测在不同烧蚀程度下样品的释气特性。
本实用新型一种在超高真空环境下的强场材料激光释气特性测量装置在权利要求书中公布了:1.一种在超高真空环境下的强场材料激光释气特性测量装置,其特征在于,包括:真空系统A、抽真空系统B、数据采集系统C、激光发射系统D以及标准气体气瓶18,其中: 所述真空系统A,包括测量真空室1、进样真空室2和手动闸板阀15;其中,测量真空室1和进样真空室2通过手动闸板阀15相连接; 所述抽真空系统B,包括测量室闸板阀3、进样室闸板阀4、测量室分子泵5、进样室分子泵6、测量室机械泵7和进样室机械泵8;其中,测量室分子泵5一端通过测量室闸板阀3与测量真空室1连接,另一端与测量室机械泵7连接;进样室分子泵6一端通过进样室闸板阀4与进样真空室2连接,另一端与进样室机械泵8连接; 所述数据采集系统C,包括测量室真空规9、进样室真空规10、四极杆质谱仪11和热电偶12;其中,测量室真空规9连接在测量真空室1上,用于采集样品激光释气过程中测量真空室1的气压,进样室真空规10连接在进样真空室2上,用于采集样品激光释气过程中进样真空室2的气压;四极杆质谱仪11连接在测量真空室1上,用于采集样品激光释气过程中测量真空室1的气体成分;热电偶12连接在测量真空室1上,用于采集样品激光释气过程中测量真空室1的温度; 所述激光发射系统D,包括Nd:YAG激光器13、激光器电源14和光学部件;其中,Nd:YAG激光器13与测量真空室1耦合,并连接激光器电源14;Nd:YAG激光器13所射出的激光通过光学部件,使激光焦点正位于测量样品22表面; 所述标准气体气瓶18,通过气源阀门16连接进样真空室2,用于向进样真空室2内充入惰性气体。
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