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河南锐瓷科技有限公司;巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司李江涛获国家专利权

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龙图腾网获悉河南锐瓷科技有限公司;巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司申请的专利一种带冷却结构的气相沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223047587U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421810089.3,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型一种带冷却结构的气相沉积设备是由李江涛;王洋洋;郭琛;魏庆渤设计研发完成,并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种带冷却结构的气相沉积设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及带冷却结构的气相沉积设备,包括沉积容器、冷却组件包括进气通道和储存件,储存件设置为上宽下窄的空腔结构,储存件较窄一端与进气通道密封连接,另一端与沉积容器密封连通,储存件用于暂时储存进气通道送至的气体;储存件外部包裹有冷却件,冷却件与储存件之间形成密封的冷却空腔,冷却空腔内连通有冷却管道,用于通入冷却气体对储存件进行冷却;冷却件上连接有出气管道,出气管道用于将冷却件内的气体输送至外部,目的是可以调节反应先驱体气体的温度,使得反应先驱体气体可以顺利到达沉积容器中进行反应,生成涂层,减少过早反应造成的反应先驱体气体的浪费。

本实用新型一种带冷却结构的气相沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种带冷却结构的气相沉积设备,其特征是,包括沉积容器、进气管道和储存件,所述沉积容器形成恒温反应腔,所述储存件一端与进气管道密封连接,另一端与沉积容器密封连通,储存件用于暂时储存进气管道通入的气体,所述储存件与沉积容器密封连通的一端设置有散气板,散气板上开设有均匀分布的散气孔,散气孔用于将储存件内气体通入沉积容器内;储存件外部围设有冷却件,且冷却件与储存件之间形成冷却空腔,冷却空腔上连通有冷却管道,用于将冷却气体导入冷却空腔;所述冷却空腔还连通有出气管道,出气管道用于将冷却空腔使用完毕的冷却气体排出。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人河南锐瓷科技有限公司;巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司,其通讯地址为:450000 河南省郑州市巩义市站街镇胡坡村北环路5号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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