江苏联赢半导体技术有限公司王世星获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏联赢半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆切换机构及晶圆加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052132U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421831344.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆切换机构及晶圆加工设备是由王世星;谢霄飞;李凯;杨军;王康;胡火军设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆切换机构及晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆切换机构及晶圆加工设备，其中，晶圆切换机构包括载板，所述载板包括主体部和多个载体部，多个载体部沿所述主体部的周向圆周均布，所述载体部用于承载晶圆；还包括驱动件，具有输出转轴，所述主体部传动连接至所述输出转轴，所述驱动件用于驱动所述主体部转动。本实用新型能够同时装载多个晶圆，方便切换以实现连续加工。
本实用新型一种晶圆切换机构及晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆切换机构，其特征在于，包括载板1，所述载板1包括主体部11和多个载体部12，多个载体部12沿所述主体部11的周向圆周均布，所述载体部12用于承载晶圆4； 还包括驱动件2，具有输出转轴，所述主体部11传动连接至所述输出转轴，所述驱动件2用于驱动所述主体部11转动。
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