重庆芯联微电子有限公司田龙获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利一种防止光罩真空吸附区污染的光罩盒获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223051639U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421893884.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种防止光罩真空吸附区污染的光罩盒是由田龙;方震宇设计研发完成，并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止光罩真空吸附区污染的光罩盒在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种防止光罩真空吸附区污染的光罩盒，包括底座和上盖：所述底座的四角处设置有支撑件，四个所述支撑件配合用于放置光罩；所述上盖的上部设置有手把，所述上盖能够盖合在所述底座上，形成一个容纳所述光罩的腔体，所述上盖内侧设置有抵接件，用于抵接所述光罩的上表面。通过将光罩传送盒的支撑件设置到底座的四角，能够有效减少支撑件和光罩的真空吸附区的接触，减少真空吸附区的污染。
本实用新型一种防止光罩真空吸附区污染的光罩盒在权利要求书中公布了：1.一种防止光罩真空吸附区污染的光罩盒，其特征在于，包括底座1和上盖2： 所述底座1的四角处设置有支撑件10，四个所述支撑件10配合用于放置光罩3； 所述上盖2的上部设置有手把21，所述上盖2能够盖合在所述底座1上，形成一个容纳所述光罩3的腔体，所述上盖2内侧设置有抵接件，用于抵接所述光罩3的上表面。
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