重庆芯联微电子有限公司李韦坤获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利一种具有研磨液加热装置的化学机械研磨设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223044317U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421893535.1,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型一种具有研磨液加热装置的化学机械研磨设备是由李韦坤;李昱廷设计研发完成,并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有研磨液加热装置的化学机械研磨设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种具有研磨液加热装置的化学机械研磨设备,包括研磨台、研磨垫、研磨头以及设置在研磨液供应臂内的研磨液供应管,所述研磨液供应管的一端为出液口,在所述出液口末端设置有加热管,所述加热管位于所述研磨垫的上方,所述加热管用于加热研磨液并输送到所述研磨垫上。本实用新型通过在出液口的末端加装快速加热装置,提供一种结构简单、改造方便,加热效率高且可以随时恢复正片生产的CMP装置。
本实用新型一种具有研磨液加热装置的化学机械研磨设备在权利要求书中公布了:1.一种具有研磨液加热装置的化学机械研磨设备,其特征在于,包括研磨台300、研磨垫400、研磨头500以及设置在研磨液供应臂内的研磨液供应管100,所述研磨液供应管100的一端为出液口110,在所述出液口110末端设置有加热管120,所述加热管120位于所述研磨垫400的上方,所述加热管120用于加热研磨液200并输送到所述研磨垫400上。
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