重庆芯联微电子有限公司曾柏章获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利清洗装置及研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223044314U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421901014.6，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型清洗装置及研磨设备是由曾柏章;李昱廷设计研发完成，并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗装置及研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，提供了一种清洗装置及研磨设备，所述清洗装置包括：清洗件和调节件；所述清洗件上具有喷液口；所述清洗件上具有与所述喷液口连通的进液口，所述进液口与所述调节件相连，所述调节件与研磨架的制动气管相连，用于控制进液口的通断。上述清洗装置利用研磨架的转动机制，在研磨架转动时，使得进液口打开，触发清洗件的喷液清洁机制，这样既不会影响在研磨过程中的研磨速率，又可以达到清洁的效果，降低人员清机次数及清洗时间，有助于提高清洗效率。研磨架切换工位与清洗形成联动，也利于简化清洗控制方式。
本实用新型清洗装置及研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗装置，其特征在于，包括：清洗件和调节件； 所述清洗件上具有用于对研磨腔的内壁进行清洗的喷液口； 所述清洗件上具有与所述喷液口连通的进液口，所述进液口与所述调节件相连，所述调节件与研磨架的制动气管相连，用于控制所述进液口的通断。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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