聚时科技(上海)有限公司刘先欢获国家专利权
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龙图腾网获悉聚时科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆吹扫装置及晶圆承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052106U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421955674.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆吹扫装置及晶圆承载装置是由刘先欢;颜梦启设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吹扫装置及晶圆承载装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体检测技术领域，尤其是涉及一种晶圆吹扫装置及晶圆承载装置。包括吹扫部件，所述吹扫部件能够产生第一方向和第二方向的清洁空气，通过在两个方向分别向晶圆以及传感器进行清洁空气吹扫清洁，不仅实现了表面清洁，还能够通过产生的清洁空气在检测区域内形成正压环境，避免了悬浮颗粒物所带来的检测干扰问题。此装置结构简单紧凑，具有高集成度的机械设计优点。
本实用新型一种晶圆吹扫装置及晶圆承载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清扫装置，其特征在于，设置于晶圆与传感器之间，包括吹扫部件，所述吹扫部件能够产生第一方向和第二方向的清洁空气，所述第一方向面向所述晶圆表面，所述第二方向面向所述传感器表面；且清洁空气的面积能够分别覆盖所述晶圆和所述传感器表面。
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