矽电半导体设备(深圳)股份有限公司杨应俊获国家专利权
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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利吸嘴更换装置及半导体加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223044008U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421973226.5,技术领域涉及:B23P19/00;该实用新型吸嘴更换装置及半导体加工设备是由杨应俊;沈杰;李长江;吴贵阳设计研发完成,并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本吸嘴更换装置及半导体加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种吸嘴更换装置及半导体加工设备,涉及半导体加工技术领域,其中,吸嘴更换装置包括摆臂机构、设置于摆臂机构的一侧的取吸嘴机构和设置于摆臂机构的另一侧的装吸嘴机构,摆臂机构具有可切换的拆卸状态和安装状态,取吸嘴机构包括第一驱动件和用于夹持吸嘴的夹持组件;在摆臂机构处于拆卸状态时,夹持组件能夹持吸嘴并在第一驱动件的驱动下运动,以将吸嘴从摆臂机构上拆下,装吸嘴机构包括第二驱动件和具有第一安装位的安装块;在摆臂机构处于安装状态时,第二驱动件能驱动安装块运动,以将第一安装位处的吸嘴安装于摆臂机构上。本实用新型提供的技术方案能够解决采用人工更换吸嘴所导致的生产效率低的技术问题。
本实用新型吸嘴更换装置及半导体加工设备在权利要求书中公布了:1.一种吸嘴更换装置,其特征在于,包括: 摆臂机构,所述摆臂机构具有拆卸状态和安装状态,所述摆臂机构能在所述拆卸状态和所述安装状态之间切换; 取吸嘴机构,所述取吸嘴机构设置于所述摆臂机构的一侧,所述取吸嘴机构包括第一驱动件和用于夹持吸嘴的夹持组件,在所述摆臂机构处于拆卸状态时,所述夹持组件能夹持吸嘴并在所述第一驱动件的驱动下运动,以将吸嘴从所述摆臂机构上拆下; 装吸嘴机构,所述装吸嘴机构设置于所述摆臂机构的另一侧,所述装吸嘴机构包括第二驱动件和安装块,所述安装块具有供吸嘴安装的第一安装位;在所述摆臂机构处于安装状态时,所述第二驱动件能驱动所述安装块运动,以将所述第一安装位处的吸嘴安装于所述摆臂机构上。
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