江苏微导纳米科技股份有限公司毛文瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利基片承载装置及基片处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052117U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422027868.2，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型基片承载装置及基片处理设备是由毛文瑞设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片承载装置及基片处理设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种基片承载装置，包括桨杆及支撑结构。支撑结构设置在桨杆上，支撑结构包括并排设置的第一承载组及第二承载组，第一承载组和第二承载组均具有用于承载基片的承载位，第一承载组和第二承载组之间形成有限位间隙，桨杆至少部分嵌入限位间隙，以限制支撑结构翻转。在将基片承载装置放置于石英管内后，桨杆至少部分嵌入第一承载组和第二承载组之间的限位间隙，从而可以避免支承结构翻转，保证支撑的稳定性。另外，由于支撑结构上沿桨杆的宽度方向上具有第一承载组和第二承载组，第一承载组和第二承载组均具有承载基片的承载位，从而利用石英管内宽度方向的尺寸，提高空间利用率，增加载片量，从而提高加工效率。本申请还涉及一种基片处理设备。
本实用新型基片承载装置及基片处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基片承载装置，其特征在于，包括： 桨杆100；及 支撑结构，设置在所述桨杆100上，所述支撑结构包括并排设置的第一承载组及第二承载组，所述第一承载组和所述第二承载组均具有用于承载基片的承载位，所述第一承载组和所述第二承载组之间形成有限位间隙，所述桨杆100至少部分嵌入所述限位间隙，以限制所述支撑结构翻转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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