重庆芯联微电子有限公司宋享金获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利一种等离子体溅射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223047577U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422020151.5，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种等离子体溅射装置是由宋享金;黄俊宪;曾柏章设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体溅射装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子体溅射装置，包括基座，基座侧壁连接有环状组件，基座以及环状组件用于放置晶圆；基座上表面与侧壁连接处设置有过渡倒角，基座下表面与侧壁之间夹角为小于45°的锐角。本申请基座上表面与侧壁连接处设计为圆倒角可减少电荷聚集，下表面与侧壁之间的截面形成锐角可增加电荷聚集，使得增加电荷聚集的位置远离晶圆边缘处，进而改变氩离子的轰击方向，避免均匀度偏差，进一步提高产品良率。
本实用新型一种等离子体溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体溅射装置，其特征在于，包括： 基座，所述基座侧壁连接有环状组件，所述基座以及环状组件用于放置晶圆； 所述基座上表面与侧壁连接处设置有过渡倒角，所述基座下表面与所述侧壁之间夹角为小于45°的锐角。
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