三一硅能(株洲)有限公司曾献瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉三一硅能(株洲)有限公司申请的专利气体分气结构及PECVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223047588U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422038516.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气体分气结构及PECVD设备是由曾献瑞;邹泽玉设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体分气结构及PECVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及电池制造技术领域，公开了气体分气结构及PECVD设备。气体分气结构适于固定在PECVD设备的腔体的侧壁上，气体分气结构包括：固定框，具有若干内壁面；若干喷淋板，对应设置在若干内壁面上，每个喷淋板与对应的内壁面围成进气腔和与进气腔连通的进气口，喷淋板具有与其对应的进气腔连通的若干喷淋孔。将气体分气结构固定在腔体的侧壁上，腔盖上无需设置气体分气结构，减轻了腔盖的重量，极大优化了腔盖错综复杂的结构，气体分气结构通过固定框和若干喷淋板拼装而成，方便加工，减少材料成本和加工成本，气体分气结构整体吊装安装于腔体内部，装配简单，维护时只需要打开腔盖后对气体分气结构进行维护，维护方便，极大提升了装配维护效果。
本实用新型气体分气结构及PECVD设备在权利要求书中公布了：1.一种气体分气结构，其特征在于，适于固定在PECVD设备的腔体的侧壁上，所述气体分气结构包括： 固定框1，具有若干内壁面； 若干喷淋板2，对应设置在若干所述内壁面上，每个所述喷淋板2与对应的所述内壁面围成进气腔301和与所述进气腔301连通的进气口303，所述喷淋板2具有与其对应的所述进气腔301连通的若干喷淋孔202。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三一硅能(株洲)有限公司，其通讯地址为：412005 湖南省株洲市铜塘湾街道铜霞路255号隆信国际1号栋518-50室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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