罗博特科智能科技股份有限公司戴军获国家专利权
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龙图腾网获悉罗博特科智能科技股份有限公司申请的专利一种石英舟翻转定位机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223052127U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422063258.8,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种石英舟翻转定位机构是由戴军;罗银兵;王政诗设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英舟翻转定位机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种石英舟翻转定位机构,包括底座、翻转驱动组件、翻转框架、推料组件、顶起组件、第一压紧组件和第二压紧组件,翻转驱动组件固定设置在底座上,翻转框架与翻转驱动组件连接,推料组件及顶起组件均设置在翻转框架上,第一压紧组件设置在翻转框架上,第一压紧组件用于在石英舟翻转前将石英舟压紧并定位在翻转框架上,第二压紧组件用于在石英舟翻转后将石英舟压紧并定位在翻转框架上。本实用新型的石英舟翻转定位机构,在石英舟翻转前采用第一压紧组件对其进行压紧定位,能够分别保证石英舟在不同的位置均被压紧,且定位准确,有利于后续工序中的吸盘能够准确吸取硅片,能够有效降低硅片的卡片率和碎片率。
本实用新型一种石英舟翻转定位机构在权利要求书中公布了:1.一种石英舟翻转定位机构,包括底座、翻转驱动组件、翻转框架、推料组件和顶起组件,所述翻转驱动组件固定设置在所述底座上,所述翻转框架与翻转驱动组件连接,所述翻转驱动组件用于带动所述翻转框架翻转;所述推料组件及顶起组件均设置在所述翻转框架上,其特征在于,所述石英舟定位机构还包括第一压紧组件和第二压紧组件,所述第一压紧组件设置在所述翻转框架上,所述第一压紧组件用于在石英舟翻转前将石英舟压紧并定位在翻转框架上;所述第二压紧组件的一部分设置在所述翻转框架上,所述第二压紧组件的另一部分设置在所述底座上,所述第二压紧组件用于在石英舟翻转后将石英舟压紧并定位在翻转框架上。
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