无锡西科沃尔科技有限公司李方克获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡西科沃尔科技有限公司申请的专利一种光刻机传感器压力波动减缓装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223049310U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422066046.5，技术领域涉及：F16F15/02；该实用新型一种光刻机传感器压力波动减缓装置是由李方克设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机传感器压力波动减缓装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机传感器压力波动减缓装置，涉及光刻机传感器技术领域，包括：光刻机主体；流场压力检测传感器，所述流场压力检测传感器可拆卸的固定在光刻机主体的底部；液膜，所述流场压力检测传感器向下插入到液膜的内部；膜层，所述膜层包裹在流场压力检测传感器的前段；承接装置，所述承接装置套接在流场压力检测传感器的外侧；夹持装置，所述夹持装置固定在承接装置的内部，并将膜层夹持固定；本实用新型通过膜层的设置包裹在流场压力检测传感器的前段，对流场压力检测传感器起到保护的作用，有效衰减已经进入传感器的高频干扰，增加了流场压力检测传感器的使用寿命。
本实用新型一种光刻机传感器压力波动减缓装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻机传感器压力波动减缓装置，其特征在于，包括： 光刻机主体100； 流场压力检测传感器200，所述流场压力检测传感器200可拆卸的固定在光刻机主体100的底部； 液膜300，所述流场压力检测传感器200向下插入到液膜300的内部； 膜层400，所述膜层400包裹在流场压力检测传感器200的前段； 承接装置500，所述承接装置500套接在流场压力检测传感器200的外侧； 夹持装置600，所述夹持装置600固定在承接装置500的内部，并将膜层400夹持固定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡西科沃尔科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市梁溪区通扬路280-1号416室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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