芯恩(青岛)集成电路有限公司刘瑞获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种污染检测装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223051178U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422085706.4，技术领域涉及：G01N21/33；该实用新型一种污染检测装置及半导体设备是由刘瑞;孔贺廷设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种污染检测装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种污染检测装置及半导体设备，通过将光发射器设置在低淋浴头的上方，将光接收器设置在低淋浴头的下方；调节器与光发射器相连接，用于调节光发射器的位置；光发射器，用于基于不同的位置发射穿过低淋浴头的检测光至光接收器；光接收器，用于接收光发射器在不同位置发射的检测光，以确定污染区域。通过调节器改变光发射器的位置，使得光发射器能够在不同的位置发射穿过低淋浴头的检测光至光接收器，利用污染区域和非污染区域对光的吸收和散射能力不同所导致的光接收器收到的光信号不同来进行污染检测，以确定污染区域，实现了对低淋浴头污染检测，便于后续对污染区域进行针对性的清洁，从而保证工艺的稳定性和产品的良率。
本实用新型一种污染检测装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种污染检测装置，应用于半导体设备，所述半导体设备包括反应腔和设置在所述反应腔上的低淋浴头，其特征在于，所述污染检测装置包括光发射器、调节器和光接收器； 所述光发射器设置在所述低淋浴头的上方，所述光接收器设置在所述低淋浴头的下方； 所述调节器与所述光发射器相连接，用于调节所述光发射器的位置； 所述光发射器，用于基于不同的位置发射穿过所述低淋浴头的检测光至所述光接收器； 所述光接收器，用于接收光发射器在不同位置发射的检测光，以确定污染区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号