江苏迈纳德微纳技术有限公司储文祥获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏迈纳德微纳技术有限公司申请的专利一种兼容粉末包覆的多功能原子层沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223047589U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422101270.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种兼容粉末包覆的多功能原子层沉积装置是由储文祥;过锦宇设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种兼容粉末包覆的多功能原子层沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种兼容粉末包覆的多功能原子层沉积装置，属于薄膜沉积技术领域，通过对平面反应腔体的腔体盖进行重新设计，在腔体盖开孔与真空磁流体装置连接，并在腔体盖内部设置不同规格的粉末容器与真空磁流体装置连接，使得该装置既能满足大尺寸样品薄膜沉积需求，又能满足不同类型粉末样品的粉末包覆需求，大大拓宽了原子层沉积设备的应用场景，降低了科研成本。
本实用新型一种兼容粉末包覆的多功能原子层沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种兼容粉末包覆的多功能原子层沉积装置，其特征在于，所述多功能原子层沉积装置包括粉末容器1、腔体盖2和腔体底座6，腔体盖2和腔体底座6通过连接部件10连接；腔体盖2开设有通孔，通孔处安装有真空磁流体装置4以实现腔体内部的动态密封，所述粉末容器1为可拆卸部件，位于腔体盖2内部，且通过通孔与外部的电磁耦合驱动器5连接，以实现自旋转。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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