苏州子山半导体科技有限公司周玉龙获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州子山半导体科技有限公司申请的专利一种监控装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223053266U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422103855.9，技术领域涉及：H05K5/02；该实用新型一种监控装置是由周玉龙;孟涛;皇甫云飞设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种监控装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及干式去胶机隔绝门技术领域，提供一种监控装置，包括箱体和真空反应腔室。本实用新型通过设置有控制结构，当信号转接板把信号从PIB信号板转入到控制板后，控制板中的MCU会进行ADC采样，当真空反应腔室和缓冲腔内部的压力值在允许的范围内时，转出隔绝门控制开关信号，使移动隔绝门随即开门，反之同理，从而避免了两腔室压差大时移动隔绝门误开而污染晶圆，同时在移动隔绝门处于关闭时，转出射频电源开关信号，进而使等离子射频开始输出，反之同理，从而确保移动隔绝门关闭时，等离子射频可以输出，防止移动隔绝门打开时等离子射频输出而污染晶圆，以及通过设置显示屏，能够实时显示移动隔绝门的开关门状态，压力差阈值大小等参数信息。
本实用新型一种监控装置在权利要求书中公布了：1.一种监控装置，包括箱体1和真空反应腔室101； 其特征在于： 所述箱体1包括真空反应腔室101、缓冲腔102、分隔板103、通口104、移动结构105、密封门106以及控制结构107，所述真空反应腔室101设置于箱体1内部的一侧，所述箱体1内部真空反应腔室101的一侧设置有缓冲腔102； 所述箱体1内部的中间位置处固定有分隔板103，所述分隔板103内部的一侧设置有通口104，所述分隔板103的一侧安装有移动结构105； 所述箱体1的一侧安装有密封门106，所述箱体1的内部设置有控制结构107。
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