永清县良晶半导体设备有限公司王博文获国家专利权
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龙图腾网获悉永清县良晶半导体设备有限公司申请的专利一种多组硅片用的清洗干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223043204U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422111216.7，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种多组硅片用的清洗干燥装置是由王博文设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多组硅片用的清洗干燥装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种多组硅片用的清洗干燥装置，属于硅片清洁技术领域，包括装置本体，装置本体内部设置有用于放置硅片的限位单元、干燥单元、清洗单元和废液回收单元，废液回收单元包括废液槽和回收槽，回收槽内设置有废液处理罐和储液罐，清洗单元包括清洗槽和清洗组件，清洗组件包括输液管和多组均匀排布的竖向清洗管；限位单元包括硅片固定板，硅片固定板上设置有多个硅片吸附座，硅片设置在硅片吸附座上，硅片吸附座与竖向清洗管错位设置。本实用新型通过将多个清洗管和硅片交错排布，利用驱动装置带动硅片深入到多个清洗管之间，继利用喷头对多个硅片的两个面同时进行清洗，保证清洗效率的同时也能保证清洗的质量。
本实用新型一种多组硅片用的清洗干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种多组硅片用的清洗干燥装置，其特征在于： 包括装置本体，所述装置本体内部设置有用于放置硅片的限位单元、干燥单元、清洗单元和废液回收单元，所述废液回收单元包括设置在装置本体底部的废液槽和设置在所述废液槽一侧的回收槽，所述回收槽内设置有废液处理罐和储液罐，所述清洗单元包括清洗槽和清洗组件，所述清洗组件包括输液管和多组均匀排布的竖向清洗管，所述竖向清洗管上设置有多个喷头； 所述限位单元包括硅片固定板，所述硅片固定板上设置有多个硅片吸附座，所述硅片设置在硅片吸附座上，所述硅片吸附座与所述竖向清洗管错位设置。
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