厦门通富微电子有限公司王凤燕获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门通富微电子有限公司申请的专利一种晶圆表面附着物清除治具及清除系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052110U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422116525.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆表面附着物清除治具及清除系统是由王凤燕设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆表面附着物清除治具及清除系统在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种晶圆表面附着物清除治具及清除系统，该治具包括承载座、槽体和升降机构，槽体设置于承载座的中央区域，用于容置去除晶圆表面附着物的清除液；升降机构设置于承载座的边缘区域，用于承载待清洁晶圆，并调整待清洁晶圆表面附着物浸入清除液的位置。通过本治具可以将晶圆边缘区域附着的漏镀浸泡在槽体内的清除液中进行去除，避免刀具刮除漏镀过程中对晶圆造成刮伤、崩裂等问题，提高产品品质。另外，该治具可以根据通过升降机构来调整位于不同位置处的晶圆表面附着物侵入清除液的位置，应用范围广泛。
本实用新型一种晶圆表面附着物清除治具及清除系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面附着物清除治具，其特征在于，包括： 承载座； 槽体，设置于所述承载座的中央区域，用于容置去除晶圆表面附着物的清除液； 升降机构，设置于所述承载座的边缘区域，用于承载待清洁晶圆，并调整所述待清洁晶圆表面附着物浸入所述清除液的位置。
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