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龙图腾网恭喜弘塑科技股份有限公司申请的专利单晶圆湿处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111900102B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910372200.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权单晶圆湿处理设备是由陈贤鸿;吴宗恩设计研发完成，并于2019-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本单晶圆湿处理设备在说明书摘要公布了：本揭示提供一种单晶圆湿处理设备，包含：旋转台，用于放置晶圆；液体供应装置，用于对所述晶圆施加多种工艺液体；液体回收装置，包含多个回收环，其中每一所述回收环用于收集对应的其中一种工艺液体及其夹带的气液混合物；以及多个气体回收装置，分别与所述液体回收装置的所述多个回收环对应连接，用于将收集的所述气液混合物排出。

本发明授权单晶圆湿处理设备在权利要求书中公布了：1.一种单晶圆湿处理设备，其特征在于，包含： 旋转台，用于放置晶圆； 液体供应装置，设置在所述旋转台上方，用于对所述晶圆施加多种工艺液体； 液体回收装置，环绕地设置在所述旋转台的周围，并且能沿着垂直方向相对所述旋转台移动，其中所述液体回收装置包含多个沿着所述垂直方向堆叠设置的回收环，且每一所述回收环用于收集对应的其中一种工艺液体及其夹带的气液混合物；以及 多个气体回收装置，分别与所述液体回收装置的所述多个回收环对应连接，其中每一所述气体回收装置包含： 风箱，包含第一连接口和第二连接口，其中所述第一连接口与对应的回收环连接，使得所述回收环内的所述气液混合物通过所述第一连接口进入所述风箱的内部；以及 排气管，与所述风箱的所述第二连接口连接，用于将收集的所述气液混合物排出； 其中所述液体回收装置的每一所述回收环包含： 液体接收口，与所述旋转台对准； 分隔板，设置在所述回收环的内部以分隔出内环空间和外环空间，其中所述内环空间用于承接从所述液体接收口进入的所述工艺液体及其夹带的所述气液混合物，并且所述分隔板阻挡所述工艺液体从所述内环空间流至所述外环空间，以及所述分隔板上形成有多个通孔，用于让所述内环空间内的所述气液混合物通过所述多个通孔进入所述外环空间；以及 液体收集口，与所述内环空间连通，用于让所述工艺液体从所述液体收集口排出；以及 多个气体回收装置，分别与所述液体回收装置的所述多个回收环对应连接，用于将收集的所述气液混合物排出。

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