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长飞光纤光缆股份有限公司谢鹏获国家专利权

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龙图腾网获悉长飞光纤光缆股份有限公司申请的专利一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116477835B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310499594.4,技术领域涉及:C03B37/014;该发明授权一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置及方法是由谢鹏;傅琰;吴建鹏;汪振东;张安林;肖武丰;徐进设计研发完成,并于2023-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置及方法,包括有蒸发柜和流量混合柜,所述的蒸发柜中安设有蒸发料瓶,所述的流量混合柜中安设有MFC,所述的蒸发料瓶包括SiCl4蒸发料瓶和GeCl4蒸发料瓶,每种气体原料蒸发料瓶分别配置有料瓶加热装置,每种气体原料蒸发料瓶通过送气管道分别与流量混合柜中的MFC输入口相接,MFC的输出口与混合气体输送管道相连通,其特征在于所述的SiCl4和GeCl4蒸发料瓶分别设置有两个,两个蒸发料瓶的进料口分别通过控制阀与送料管道相连通,两个蒸发料瓶的送气口分别通过控制阀或切换阀与SiCl4送气管道相连通。本发明结构设置合理简便,结构设置合理简便,不仅能提供持续不间断的气体原料,而且气压稳定,提高了设备的生产效率。

本发明授权一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置,包括有蒸发柜和流量混合柜,所述的蒸发柜中安设有蒸发料瓶,所述的流量混合柜中安设有MFC,所述的蒸发料瓶包括SiCl4蒸发料瓶和GeCl4蒸发料瓶,每种气体原料蒸发料瓶分别配置有料瓶加热装置,每种气体原料蒸发料瓶通过送气管道分别与流量混合柜中的MFC输入口相接,MFC的输出口与混合气体输送管道相连通,其特征在于所述的SiCl4蒸发料瓶设置有两个,两个SiCl4蒸发料瓶的进料口分别通过控制阀与送料管道相连通,两个SiCl4蒸发料瓶的送气口分别通过控制阀或切换阀与SiCl4送气管道相连通,所述的GeCl4蒸发料瓶设置有两个,两个GeCl4蒸发料瓶的进料口分别通过控制阀与送料管道相连通,两个GeCl4蒸发料瓶的送气口分别通过控制阀或切换阀与GeCl4送气管道相连通;所述的蒸发柜内安设有使柜内温度保持恒定的蒸发柜加热器,所述的流量混合柜安设有使柜内温度保持恒定的混合柜加热器;所述的蒸发料瓶上端设置有抽吸口,抽吸口通过控制阀及抽吸管道与真空泵相连;所述的蒸发料瓶上端设置有抽吸口,抽吸口通过控制阀及抽吸管道与真空泵相连。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长飞光纤光缆股份有限公司,其通讯地址为:430073 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道9号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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