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盐城厚泽锦业技术有限公司周传国获国家专利权

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龙图腾网获悉盐城厚泽锦业技术有限公司申请的专利一种硅片转运装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117476522B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311721526.4,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种硅片转运装置是由周传国;杜伟;王先亮;马骏设计研发完成,并于2023-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种硅片转运装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种硅片转运装置,用于转运硅片单元,硅片单元包括晶托和硅片,硅片划分为多个硅片组,转运装置包括料框和转运小车,料框包括夹紧组件和解锁触发部,夹紧组件包括活动板,活动板上设置多个间隔布置的夹紧部,多个夹紧部与多个硅片组一一对应,以夹紧对应的硅片组,每个夹紧部朝远离硅片的方向运动以解除对应硅片组的夹紧,转运小车上设有解锁部,活动板在解锁触发部的作用下朝远离盛装空间的方向运动,活动板带动设于其上的多个夹紧部同步运动。解锁装置在料框脱离转运小车后向夹紧部施加外力以使夹紧部远离对应的硅片组。本装置能够提高硅片在转运过程中的放置可靠性,实现对每个硅片组的独立解除夹紧,避免硅片受损。

本发明授权一种硅片转运装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片转运装置,用于转运硅片单元,所述硅片单元包括晶托和粘贴在所述晶托上待分离的多片硅片,所述多片硅片划分为多个硅片组,其特征在于,所述转运装置包括: 料框,其内形成用于盛装所述硅片单元的盛装空间,所述盛装空间的顶部敞口以供所述硅片单元由上至下装入所述盛装空间内,所述料框的一端设有与所述盛装空间连通的出料口,所述料框上设有: 夹紧组件,其具有两个、位于所述盛装空间的相对两侧,所述夹紧组件包括活动板,所述活动板沿所述盛装空间的长度方向延伸,所述活动板沿其长度方向上设有多个依次布置的夹紧部,多个所述夹紧部与多个所述硅片组一一对应,以夹紧对应的所述硅片组,每个所述夹紧部朝远离所述硅片的方向运动以解除对应所述硅片组的夹紧; 解锁触发部,每个所述活动板配置对应的所述解锁触发部; 转运小车,其用于承载所述料框,所述转运小车上设有解锁部,在所述料框放置于所述转运小车后,所述解锁部触发所述解锁触发部动作,所述活动板在所述解锁触发部的作用下朝远离所述盛装空间的方向运动,所述活动板带动设于其上的多个所述夹紧部同步朝远离所述盛装空间的方向运动; 解锁装置,其设于所述夹紧部的旁侧,所述解锁装置用于在所述料框脱离所述转运小车后向所述夹紧部施加外力以使夹紧部远离对应的所述硅片组。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人盐城厚泽锦业技术有限公司,其通讯地址为:224700 江苏省盐城市建湖县高新区5D智造谷1号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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