中国科学院上海微系统与信息技术研究所冯飞获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利单沟道微热导检测器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117783401B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311814338.6，技术领域涉及：G01N30/66；该发明授权单沟道微热导检测器及其制备方法是由冯飞;陈泊鑫设计研发完成，并于2023-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本单沟道微热导检测器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种单沟道微热导检测器及其制备方法，在基板中集成了导电连接件，用于替代外接引线，避免了接触电阻的形成，减小了检测器的零点误差和噪声干扰；取消了参考沟道，将参考沟道的热敏电阻直接制备于基板中，避免了参考沟道中气流扰动形成的噪声，同时，减少了一路载气的需求，降低了气相色谱系统的供气负担；本发明的微热导检测器结构简单，能有效提高检测器的检测灵敏度，同时降低气相色谱系统的供气负担，有利于便携式应用，可进一步促进气相色谱系统的微型化。
本发明授权单沟道微热导检测器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种单沟道微热导检测器，其特征在于，所述单沟道微热导检测器包括： 基板，所述基板中设置有微沟道； 热敏电阻，所述热敏电阻包括设置于所述基板上的第一热敏电阻与第四热敏电阻，以及通过支撑结构悬挂于所述微沟道内的第二热敏电阻与第三热敏电阻，以取消参考沟道，将参考沟道对应的所述第一热敏电阻与所述第四热敏电阻直接制备于所述基板上； 导电连接件，所述导电连接件设置于所述基板上且连接所述热敏电阻构成惠斯通电桥结构； 盖板，所述盖板与所述基板键合，通过所述盖板覆盖所述微沟道构成闭合微沟道； 其中，所述支撑结构呈网状；所述支撑结构包括位于热敏电阻下表面的第一介质层及位于所述热敏电阻上表面的第二介质层；所述导电连接件中的焊盘显露于所述盖板；所述盖板设置于所述基板的相对两侧，或所述盖板仅设置于所述基板的一侧；所述盖板临近所述基板的一侧设置有与所述微沟道对应设置的盖板容置槽。
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