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尊芯智能科技(苏州)有限公司张健强获国家专利权

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龙图腾网获悉尊芯智能科技(苏州)有限公司申请的专利定位机构、抓取系统及晶圆传送盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223038927U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422229439.3,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型定位机构、抓取系统及晶圆传送盒是由张健强;蒲宗杰;赵萌设计研发完成,并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。

定位机构、抓取系统及晶圆传送盒在说明书摘要公布了:本实用新型的实施例涉及一种半导体制造领域的物流输送设备,特别涉及一种定位机构、抓取系统及晶圆传送盒,该定位机构包括:定位装置、检测模块;其中,定位装置和检测模块均设置于抓取系统的抓取平台上,该定位装置用于抓取平台在下降时,对处于目标位的FOUP进行定位;检测模块用于定位装置在定位FOUP时,检测定位装置的状态,并根据测得的状态向主控模块输出至少一种电信号。同现有技术相比,可保证了抓取平台在抓取FOUP时的夹持精度,有效避免了抓取平台出现抓取失败,以及在完成对FOUP的抓取后,可防止FOUP脱出抓取平台的现象。

本实用新型定位机构、抓取系统及晶圆传送盒在权利要求书中公布了:1.一种定位机构,其特征在于,所述定位机构包括: 定位装置,设置于抓取系统的抓取平台上,用于所述抓取平台在下降时,对处于目标位的晶圆传送盒FOUP进行定位; 检测模块,设置于所述抓取平台上,用于所述定位装置在定位所述FOUP时,检测所述定位装置的状态,并根据测得的状态向抓取系统的主控模块输出至少一种电信号。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人尊芯智能科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215024 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G4-301-076单元;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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