珠海东辉半导体装备有限公司刘涛获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海东辉半导体装备有限公司申请的专利一种晶圆定位台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038926U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422227872.3，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆定位台是由刘涛;郭良;梁贤设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆定位台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工领域，公开了一种晶圆定位台，能够适应不同尺寸的晶圆。本实用新型包括底座，设有第一基准、多个定位凹槽和多个安装槽，多个安装槽重叠设置，多个安装槽均抵接第一基准，多个安装槽分别与多个定位凹槽对应设置；第一定位平台，设于第一基准；第二定位平台，设于定位凹槽；吸附机构，设于底座。
本实用新型一种晶圆定位台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位台，其特征在于，包括： 底座100，设有第一基准、多个定位凹槽110和多个安装槽120，多个安装槽120重叠设置，多个所述安装槽120均抵接所述第一基准，多个所述安装槽120分别与多个所述定位凹槽110对应设置； 第一定位平台200，设于所述第一基准； 第二定位平台300，设于所述定位凹槽110； 吸附机构，设于所述底座100。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海东辉半导体装备有限公司，其通讯地址为：519080 广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号5栋1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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