沈阳富创精密设备股份有限公司姜小蛟获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种半导体真空门阀颗粒度检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223037730U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422368424.5，技术领域涉及：G01N15/14；该实用新型一种半导体真空门阀颗粒度检测设备是由姜小蛟;李加平;刘鑫设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体真空门阀颗粒度检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体真空门阀颗粒度测试技术领域，具体是一种半导体真空门阀颗粒度检测设备，包括真空获得模块、测试腔体、颗粒度检测模块和数据读取与处理模块，真空获得模块与测试腔体连通对测试腔体抽真空，门阀的一端连接有颗粒度检测模块，另一端与测试腔体连接，测试腔体的另一端连接有高纯氮气。该设备使用简单，将真空设备中难以模拟的实际检测方法匹配为可量化的零部件检测方法，通过搭建真空模组，对半导体真空门阀颗粒度进行测试，满足产品洁净度的使用需求，通过数据读取与处理模块读取真空、流量、颗粒度等数据，方便快捷的输出测试结果。极大提高了半导体真空门阀颗粒度测试可靠性，为产品性能指标提供可靠数据和支撑。
本实用新型一种半导体真空门阀颗粒度检测设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体真空门阀颗粒度检测设备，其特征在于，包括真空获得模块（1）、测试腔体（2）、颗粒度检测模块和数据读取与处理模块（4），真空获得模块与测试腔体（2）连通对测试腔体（2）抽真空，门阀（5）的一端连接有颗粒度检测模块，另一端与测试腔体（2）连接，测试腔体（2）的另一端连接有高纯氮气（6）。
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