江西联创光电超导应用有限公司蒋国忠获国家专利权
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龙图腾网获悉江西联创光电超导应用有限公司申请的专利一种晶圆拉晶装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119372763B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411389151.0,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权一种晶圆拉晶装置是由蒋国忠;马韬;戴少涛;胡磊;李芳昕设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆拉晶装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆拉晶装置,涉及拉晶炉技术领域,具体包括主炉室,所述主炉室的顶部固定连接有副炉室,所述主炉室的顶部磁性相吸有转移室,所述主炉室顶端的一侧固定连接有尾气处理结构和进料结构;所述进料结构包括料筒,所述料筒的内腔内活动连接有螺旋送料轴,所述料筒的侧壁和螺旋送料轴的内腔内均设有气道,气道的一端活动连接有进气管,所述进气管的另一端延伸至主炉室的内腔内。该晶圆拉晶装置,通过转移室的设置,在取单晶棒的过程中,副炉室不需要与主炉室分离,该装置可继续工作,提高该装置的工作效率;单晶棒在移动过程中,夹持结构对单晶棒进行夹持固定,能够省略稳定晶棒的步骤,进而提高取晶棒的效率。
本发明授权一种晶圆拉晶装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆拉晶装置,包括主炉室(1),其特征在于:所述主炉室(1)的顶部固定连接有副炉室(2),所述主炉室(1)的顶部磁性相吸有转移室(3),所述主炉室(1)顶端的一侧固定连接有尾气处理结构(8)和进料结构; 所述进料结构包括料筒(4),所述料筒(4)的内腔内活动连接有螺旋送料轴(5),所述料筒(4)的侧壁和螺旋送料轴(5)的内腔内均设有气道,气道的一端活动连接有进气管(11),所述进气管(11)的另一端延伸至主炉室(1)的内腔内,所述气道的另一端活动连接有出气管(7),所述出气管(7)的另一端与尾气处理结构(8)的进气端连接; 所述副炉室(2)内腔的顶端设有籽晶绳剪裁结构,所述籽晶绳剪裁结构包括夹板一(14)和剪刀(30),所述副炉室(2)内腔顶端的两侧均固定有电动伸缩杆一(15),所述电动伸缩杆一(15)的另一端固定连接有夹板一(14),所述副炉室(2)顶端的一侧通过电动伸缩杆二(29)连接有剪刀(30); 所述副炉室(2)底端的靠近转移室(3)的一侧设有与单晶棒适配的开口,开口的内侧活动连接有密封门(12),所述副炉室(2)远离开口的一侧设有推料结构;所述推料结构包括与单晶棒适配的推板(13),所述推板(13)通过电动伸缩杆三(28)与副炉室(2)固定连接; 所述转移室(3)内腔的顶部设有夹持结构,所述转移室(3)的内腔内设有移料结构,所述移料结构包括与转移室(3)远离开口一侧固定连接的电动伸缩杆四(23)、与电动伸缩杆四(23)固定连接的接料板(24)、与接料板(24)远离开口一侧固定连接的电动伸缩杆五(25)、与电动伸缩杆五(25)固定连接的伺服电机一(26)和与伺服电机一(26)输出轴末端固定连接的支撑板(27);所述转移室(3)的一侧设有抽真空结构(31)。
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