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龙图腾网获悉鹏城实验室申请的专利一种光刻照明系统、方法及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119270598B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411804389.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻照明系统、方法及光刻机是由曹子峥;王广彪;周延;皮雅稚;余少华设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻照明系统、方法及光刻机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种光刻照明系统、方法及光刻机，涉及光刻技术领域，所述光刻照明系统包括：非对称分光器、监测器、曝光装置、预设光源以及控制器；通过非对称分光器将预设光分为传输至监测器的监测光以及传输至曝光装置的照明光，控制器可以通过监测器获取的监测光的光场分布来获取照明光的光场分布，从而达到监控的效果。同时控制器在判定照明光的光场分布出现异常时，可以自适应地调节预设光源输出的预设光对应的光源像素参数，以使产生的照明光继续实现匀光的效果。通过上述简单的结构实现光刻照明系统的匀光和监控的一体化，极大地降低了整个光刻照明系统的硬件结构复杂度，并减少了光源不稳定的情况对光刻照明系统造成的干扰。

本发明授权一种光刻照明系统、方法及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种光刻照明系统，其特征在于，所述光刻照明系统包括：非对称分光器、监测器、曝光装置、预设光源以及控制器； 所述控制器分别与所述监测器以及所述预设光源电连接； 所述非对称分光器，设置于所述预设光源的出光路径上，用于将所述预设光源发射的预设光进行折射以及反射，在不同光路上分别产生监测光以及照明光，并将所述监测光传输至所述监测器，同时将所述照明光传输至所述曝光装置； 所述曝光装置，用于基于获取的照明光，对待处理晶圆进行曝光处理； 所述监测器，用于监测所述监测光的光场分布数据，并将对应的光场信息传输至所述控制器； 所述控制器，用于基于所述光场信息、设计的神经网络模型以及所述非对称分光器对应的调制函数，发送对应的匀光控制信号至所述预设光源； 所述预设光源，用于基于所述匀光控制信号，调节所述预设光的光源像素参数，所述光源像素参数包括所述预设光的光强、相位以及振幅分布，所述预设光为深紫外波长光； 所述非对称分光器，还用于在接收到所述预设光时，对所述预设光进行去相干处理获得所述照明光，并将所述照明光传输至所述曝光装置。

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