深圳大学丛湘娜获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利隧穿场效应管、其制备方法及光电探测器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119653931B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510169811.2,技术领域涉及:H10F77/50;该发明授权隧穿场效应管、其制备方法及光电探测器是由丛湘娜;何文龙设计研发完成,并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本隧穿场效应管、其制备方法及光电探测器在说明书摘要公布了:本发明提出一种隧穿场效应管、其制备方法及光电探测器,涉及光电器件领域,隧穿场效应管包括衬底以及依次层叠于衬底一侧的绝缘层、导电层、介电层、异质结层和封装层;异质结层包括第一半导体层和第二半导体层,第一半导体层叠设在介电层上,第二半导体层至少部分叠设在第一半导体层上,第二半导体层的其他部分叠设在介电层上;第一半导体层包括二硫化锡层,第二半导体层包括二硫化铪层,封装层包括氧化铪层。本发明采用等离子体氧化技术对具有超高载流子特性的二硫化铪进行封装处理,形成了高介电常数的氧化铪介电层,保证了高质量的界面,进而实现了场效应晶体管的隧穿特性,为未来最终实现高性能纳米材料的低功耗隧穿器件奠定了基础。
本发明授权隧穿场效应管、其制备方法及光电探测器在权利要求书中公布了:1.一种隧穿场效应管,其特征在于,包括衬底以及依次层叠于所述衬底一侧的绝缘层、导电层、介电层、异质结层和封装层; 所述异质结层包括第一半导体层和第二半导体层,所述第一半导体层包括二硫化锡层,所述第二半导体层包括二硫化铪层,所述封装层包括氧化铪层; 其中,所述氧化铪层由所述二硫化铪层通过等离子体氧化得到。
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