珠海市申科谱工业科技有限公司张雨涛获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市申科谱工业科技有限公司申请的专利一种针对晶圆表面凹凸自动纠偏的激光切割设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119703442B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510222038.1,技术领域涉及:B23K26/38;该发明授权一种针对晶圆表面凹凸自动纠偏的激光切割设备是由张雨涛;张振富;叶剑;关力;王建波;安柯设计研发完成,并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种针对晶圆表面凹凸自动纠偏的激光切割设备在说明书摘要公布了:本发明提供一种针对晶圆表面凹凸自动纠偏的激光切割设备,本发明由于在上位机控制移动驱动模组驱动切割机组架带动激光发生单元照射的激光按切割轨迹划过待切割物过程前,能够通过测距仪获取切割轨迹所有部位的厚度、倾斜度以及激光发生单元与切割轨迹每一部位之间的距离,从而在激光滑过切割轨迹所有部位时,能够通过镜片驱动模组驱动镜片组之间的物镜距离,调整激光焦距,使激光能够稳定、完全和集中地落在切割轨迹所有部位上,从而稳定地切割表面不平整的、各个部位厚度不一的、以及表面具有不同倾斜部位的待切割物;本发明属于自动化设备的技术领域。
本发明授权一种针对晶圆表面凹凸自动纠偏的激光切割设备在权利要求书中公布了:1.一种针对晶圆表面凹凸自动纠偏的激光切割设备,其特征在于,包括: 切割平台1,所述切割平台1用于放置待切割物12; 移动驱动模组2,所述移动驱动模组2用于驱动切割机组架21移动,所述切割机组架21安装有测距仪22和激光发生单元23,所述测距仪22与所述切割平台1垂直,所述激光发生单元23与所述测距仪22平行,以使所述激光发生单元23发出的激光照射至所述切割平台1上放置的所述待切割物12,所述激光发生单元23与所述测距仪22平行存在恒定距离; 镜片组3,所述镜片组3位于所述激光发生单元23与所述切割平台1之间,所述镜片组3设置有镜片驱动模组,所述镜片驱动模组包括齿条41和齿轮42,所述齿条41固定设置,所述齿条41上阵列有若干个S极N极错位排列的电磁铁411,所述齿轮42的轴承固定于所述镜片组3的物镜31上,所述齿轮42与所述齿条41啮合,所述齿轮42的外周阵列有若干个S极N极错位排列的磁铁421,通过给予所述齿条41上的某一所述电磁铁411通电,使该电磁铁411吸附所述齿轮(42)上与其磁极对应的磁铁421,以带动所述齿轮42在齿条41上移动以及将所述齿轮42固定于所述齿条41的某一位置,从而能够根据所述测距仪22监测其与所述待切割物12之间的距离而利用所述镜片驱动模组驱动所述镜片组3的物镜31之间距离,实现调整激光焦距; 所述镜片组3设置有若干个所述物镜31,每一所述物镜31均轴承固定有与所述齿条41啮合的所述齿轮42,所述镜片驱动模组还包括镜片定位单元,所述镜片定位单元用于获取每一所述齿轮42位于所述齿条41的位置。
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