恭喜株式会社荏原制作所宫崎充获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社荏原制作所申请的专利基板支承装置以及基板支承装置的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111799209B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010248905.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权基板支承装置以及基板支承装置的控制方法是由宫崎充;井上拓也设计研发完成，并于2020-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支承装置以及基板支承装置的控制方法在说明书摘要公布了：本发明作为一例而提供用于安装基板及或取下基板的基板支承装置和方法。作为一个形态，基板支承装置具备：多个支承部10，其与基板W的周缘部抵接，使所述基板W旋转；设有多个支承部10的一对被驱动部30；连结一方被驱动部31和另一方被驱动部32的连结部20；以及驱动部40，其通过使所述连结部20的至少一部分移动，使所述被驱动部30各自沿第一方向呈直线状接近或分离。还提供多个其他形态。
本发明授权基板支承装置以及基板支承装置的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基板支承装置，其具备： 多个支承部，其与基板的周缘部抵接，用于使所述基板旋转； 设有多个支承部的一对被驱动部； 连结部，其可移动地与一方被驱动部连结，且可移动地与另一方被驱动部连结； 驱动部，其通过使所述连结部的至少一部分沿第二方向移动，使所述被驱动部各自沿着与所述第二方向正交的第一方向呈直线状接近或分离； 第一被引导构件，其设于一方被驱动部，用于使该一方被驱动部在所述第一方向上呈直线状移动； 第二被引导构件，其设于另一方被驱动部，用于使该另一方被驱动部在所述第一方向上呈直线状移动； 第一引导件，其对所述第一被引导构件沿所述第一方向进行引导； 第二引导件，其对所述第二被引导构件沿所述第一方向进行引导；以及 设有所述第一引导件以及所述第二引导件的基台， 在所述基台设有供所述支承部通过的多个长孔，所述多个长孔在沿着所述第一方向的相同方向上延伸， 在所述被驱动部接近的状态下使所述基板旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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