恭喜科磊股份有限公司S·玛德厚嘉尔哈获国家专利权
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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利将绝对Z高度值用于工具之间的协同作用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113678235B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080026818.4，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权将绝对Z高度值用于工具之间的协同作用是由S·玛德厚嘉尔哈;H·S·帕特汉吉;R·巴特设计研发完成，并于2020-04-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本将绝对Z高度值用于工具之间的协同作用在说明书摘要公布了：本公开揭示一种半导体复查工具，其接收半导体晶片的绝对Z高度值，例如具有斜角边缘的半导体晶片的绝对Z高度值。所述绝对Z高度值可由半导体检验工具确定。所述半导体复查工具在基于所述绝对Z高度值的Z高度内复查所述半导体晶片。可将焦点调整为在所述Z高度内。
本发明授权将绝对Z高度值用于工具之间的协同作用在权利要求书中公布了：1.一种系统，其包括： 在半导体复查工具中的粒子束产生器，其产生粒子束； 在所述半导体复查工具中的平台，其经配置以固持半导体晶片； 在所述半导体复查工具中的检测器，其经配置以接收从所述半导体晶片反射的所述粒子束；及 处理器，其与所述检测器电子通信，其中所述处理器经配置以： 接收来自第一半导体检验工具的所述半导体晶片相对于所述半导体复查工具的工具组件的绝对Z高度值、方位角值及极角值； 发送使用所述粒子束在Z高度内复查所述半导体晶片的指令，其中所述Z高度是基于在所述方位角值及所述极角值的位置处的所述绝对Z高度值确定的，并使用所述绝对Z高度值作为扫掠所述Z高度的起始点；及 在所述半导体晶片的所述复查期间，将所述半导体复查工具的焦点调整为在所述Z高度内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人科磊股份有限公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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