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龙图腾网获悉浙江工业大学申请的专利一种基于Pd/MoOx纳米粒子组装结构的乙醇气敏材料及制备方法、传感器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115015332B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210549147.0，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权一种基于Pd/MoOx纳米粒子组装结构的乙醇气敏材料及制备方法、传感器件是由谢波;钱浩宇;胡军;夏盛杰;肖作旗;郝胜杰;毛稀兵;孙健;周兴泉;张澳雪设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于Pd/MoOx纳米粒子组装结构的乙醇气敏材料及制备方法、传感器件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于PdMoOx纳米粒子组装结构的乙醇气敏材料及制备方法、传感器件，本发明的PdMoOx纳米组装材料利用团簇束流沉积技术制备，利用双靶团簇溅射源，在带有绝缘衬底的叉指电极表面先后沉积Mo纳米粒子和Pd纳米粒子，在空气中经过陈化后即可得到不同质量比例的PdMoO x 混合纳米粒子组装材料；即可利用该材料实现乙醇浓度的定量测量。本发明与其他现有技术相比，本发明涉及的钼氧化物和钯混合纳米粒子组装材料具有更多的吸附氧含量性质，且由于Pd纳米粒子对乙醇的化学修饰以及协同催化作用，混合纳米组装材料相比于单一的MoO x 具有更多的活性位点，可以在较低的温度下对乙醇实现高灵敏度和快速响应的感知。

本发明授权一种基于Pd/MoOx纳米粒子组装结构的乙醇气敏材料及制备方法、传感器件在权利要求书中公布了：1.一种基于PdMoO x 纳米粒子组装结构的乙醇气敏材料，其特征在于包括带有绝缘衬底的叉指电极以及在叉指电极表面先后沉积的Mo纳米粒子和Pd纳米粒子，在空气中经过陈化使Mo纳米粒子被氧化成MoO x ，形成钼氧化物MoOx纳米粒子和Pd纳米粒子组合的无序均匀的混合结构，即为MoOxPd混合纳米粒子组装材料，在感知乙醇时，MoO x 纳米粒子作为乙醇感知材料，Pd纳米粒子起协同催化作用，降低反应活化能，改善乙醇传感能力； Pd纳米粒子在PdMoO x 纳米粒子组装材料中的质量百分占比为0.5%~10%； 所述的一种基于PdMoO x 纳米粒子组装结构的乙醇气敏材料的制备方法，基于团簇束流沉积技术制备，制备方法包括以下步骤： （1）将高纯度Mo和Pd靶材分别放置在团簇束流沉积设备的两个溅射枪上，将带有绝缘衬底的叉指电极放置在团簇束流沉积系统的沉积室内，对整个装置采取抽真空； （2）所述两个溅射枪上均通入溅射气，并向团簇束流沉积系统的溅射腔中通入缓冲气； （3）先后分别溅射Mo和Pd靶材，在叉指电极表面先沉积Mo纳米粒子，再沉积Pd纳米粒子； （4）沉积的Mo和Pd纳米粒子在空气中陈化3小时以上，使Mo纳米粒子被氧化成MoO x ，在叉指电极表面形成钼氧化物MoO x 纳米粒子和Pd纳米粒子组合的无序均匀的混合结构； 步骤（3）中，将Mo靶材的溅射功率设置为12~18W，其溅射电流为0.03~0.0375A，溅射电压为400~480V，溅射时间为180~250s； 步骤（3）中，将Pd靶材的溅射功率设置为10~15W，其溅射电流为0.033~0.042A，溅射电压为300~360V，溅射时间为80~150s。

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